Графітовий субстрат з покриттям з карбіду кремнію для напівпровідника, MOCVD токсектор

Короткий опис:

Тосцептор VET Energy з покриттям SiC – це високопродуктивний продукт, розроблений для забезпечення стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду. Він має надзвичайно добру термостійкість та однорідність нагрівання, високу чистоту та стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.

Місце походження:Чжецзян, Китай (материк)

Хімічний склад:Графіт з покриттям SiC

Міцність на згин:470 МПа

Теплопровідність:300 Вт/мК

Якість:Ідеальний

Функція:CVD-SiC

Застосування:Напівпровідник / Фотоелектричні

Щільність:3,21 г/куб.см

Теплове розширення:4 10-6/К

Попіл: <5 ppm

Зразок:Доступно

Код ТН ЗС:6903100000

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

VET Energy SiC-покриття– це високопродуктивне рішення, ретельно розроблене для забезпечення надійної та стабільної роботи протягом тривалого терміну служби, що відповідає суворим вимогам виробництва напівпровідників. Завдяки винятковій термостійкості, чудовій тепловій однорідності та високій чистоті, цей продукт ідеально підходить для носіїв пластин MOCVD та інших застосувань обробки пластин, що вимагають стабільності та точності. Його надійна стійкість до ерозії робить його преміальним вибором для середовищ, де важливе значення мають довговічність та хімічна стійкість.

НашГрафітовий сусцептор з покриттям SiCє критично важливим компонентом у процесі виробництва напівпровідників, використовуючи ексклюзивну запатентовану технологію VET Energy для досягнення надзвичайно високої чистоти, чудової однорідності покриття та чудової термічної стабільності. Покриття підвищує графітову підкладку, надаючи їй високу хімічну стійкість та значно подовжуючи термін служби. Відданість VET Energy якості призвела до створення сусцептора з покриттям SiC, який відповідає потребам ринку графітових носіїв пластин, що постійно змінюються, встановлюючи високий стандарт для графітових сусцепторів з покриттям SiC, що використовуються вПроцеси MOCVD.

Основні характеристики сусцепторів з покриттям SiC:

1. Стійкість до окислення за високих температур:Витримує температури до 1700℃, що робить його придатним для екстремальних умов обробки.

2. Висока чистота та теплова однорідність:Забезпечує стабільні результати, що життєво важливо дляСусцептори MOCVDта інші прецизійні застосування.

3. Відмінна стійкість до корозії:Стійкий до кислот, лугів, солей та різних органічних реагентів.

4. Підвищена твердість поверхні:Компактна поверхня з дрібними частинками, що забезпечує підвищену міцність та довговічність.

5. Збільшений термін служби:Розроблено для тривалої роботи, перевершуючи стандартні токсцептори з карбідокремнієвим покриттям у жорстких умовах обробки.

Як провідний виробник, VET Energy спеціалізується на виробництві графіту на замовлення тавироби з карбіду кремніюз різними варіантами покриття, в тому числіпокриття SiC, покриття TaC, скловуглецеве покриття, та піролітичне вуглецеве покриття. Ми з гордістю обслуговуємо напівпровідникову та фотоелектричну промисловість, постачаючи графітові сусцептори з карбід-кремнієвим покриттям, які відповідають конкретним експлуатаційним вимогам.

Наша технічна команда, маючи досвід роботи у провідних вітчизняних дослідницьких установах, прагне вдосконалити матеріальні рішення для потреб, що постійно змінюються.Графітовий сусцептор з покриттям SiCринок. Завдяки нашому запатентованому процесу, VET Energy розробила унікальну технологію, яка значно покращує міцність зчеплення між карбід-кремнієвим покриттям та підкладкою, зменшуючи ризик відшарування та підвищуючи довгострокову надійність.

Застосування та переваги в обробці напівпровідників

TheSiC-покриття для MOCVDдозволяєграфітовий сусцепторкомпоненти для збереження цілісності за високих температур та в агресивних середовищах, що життєво важливо для виробництва прецизійних напівпровідників. Ці графітові компоненти з покриттям SiC особливо цінуються в процесах, що вимагають використання сусцепторів з покриттям з карбіду кремнію дляносії графітових пластин, які вимагають високої термічної стабільності, чистоти та стійкості до хімічної ерозії.

Завдяки нашим передовим технологіям покриття з карбіду кремнію, VET Energy продовжує підтримувати ринок графітових носіїв пластин, пропонуючи індивідуальні, високопродуктивніГрафітові сусцептори з покриттям SiCщо вирішують специфічні для галузі проблеми, від процесів MOCVD до високочистих застосувань у напівпровідниковій галузі.