El portador de revestimiento de SiC para RTP/RTA es un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores llamados procesamiento térmico rápido y recocido. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el portador de carburo de silicio con una pureza extremadamente alta, buena uniformidad de revestimiento y una excelente vida útil, así como altas propiedades de resistencia química y estabilidad térmica.
Características de nuestros productos:
1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica.
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.
| ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento | |
| 性质 / Propiedad | 典型数值 / Valor típico |
| 晶体结构 / Estructura cristalina | Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidad | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureza | 2500 libras (carga de 500 g) |
| 晶粒大小 / Tamaño del grano | 2~10 μm |
| 纯度 / Pureza química | 99.99995% |
| 热容 / Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura de sublimación | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Resistencia a la flexión | 415 MPa RT 4 puntos |
| 杨氏模量 / Módulo de Young | 430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermayoConductividad | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Expansión térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy es un verdadero fabricante de productos de carburo de silicio y grafito personalizados con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.
Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.
Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.
Le damos una cálida bienvenida para visitar nuestra fábrica, ¡tengamos más discusión!
