Кварцовий човен високої чистоти для обробки пластин

Кварцовий вафельний човенє ключовим інструментом-носієм у виробництві напівпровідників, виробництві фотоелектричних елементів та передових дослідженнях та розробках матеріалів, призначеним для стабільного перенесення та позиціонування пластин у високотемпературних процесах. Цей продукт виготовлений з надвисокочистого плавленого кварцу (SiO2), що має відмінну термостійкість, хімічну стабільність та наднизькі характеристики забруднення металами, підходить для дифузійних печей, окислювальних печей, PECVD/LPCVD та іншого обладнання, широко використовується для покриття пластин, іонної імплантації, високотемпературного відпалу та інших процесів обробки серцевини.

Основні переваги кварцового човна VET Energy:

• Матеріал надвисокої чистоти
  Чистота ≥99,99%: вміст домішок (Na, K, Fe тощо) <5 ppm, що запобігає забрудненню пластини та гарантує вихід чіпа.
  Низький рівень опадів та адсорбції: поверхня суперполірована (Ra ≤ 0,4 мкм) для зменшення адгезії частинок та залишків газу.
• Стабільність при високих температурах
  Температурне обмеження: Тривала робоча температура 1100℃, короткочасний пік 1300℃, без деформації, без кристалічного осаду.
  Низький коефіцієнт теплового розширення (5,5x10-7/℃), відмінна стійкість до термічних ударів, адаптація до швидкого підвищення та зниження температури (наприклад, швидкий відпал RTP).
• Точне структурне проектування
  Точність пазу ±0,1 мм: відповідність пластин розміром від 2 до 12 дюймів, похибка рівномірності відстані <0,05 мм, що гарантує відсутність зміщення пластин.
  Висока вантажопідйомність: максимальне завантаження 50 пластин (у перерахунку на 12-дюймові пластини) в одному човні, що забезпечує стабільне перенесення тонких пластин (≥100 мкм).
• Хімічна інертність
  Корозійна стійкість: стійкий до кислотної (крім HF), лугової та органічної корозії, сумісний з процесом очищення CMP.
  Відмінна газонепроникність: швидкість витоку <5x10-10 Па·м³/с, підходить для вакуумних середовищ та середовищ із захисними газами.
• Довгий термін служби та ремонтопридатність
  Термін служби ≥ 5000 циклів (нормальні робочі умови), поверхню можна багаторазово очищати та використовувати, що знижує загальну вартість.
  Модульна конструкція: дозволяє часткову заміну (наприклад, один зуб човна), що зменшує час простою.

Ми пропонуємо як прозорі, так і матові поверхні відповідно до вимог замовника:

Компанія «Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd» – це високотехнологічне підприємство, що спеціалізується на виробництві та продажу високоякісних передових матеріалів, включаючи графіт, карбід кремнію, кераміку, обробку поверхонь, таку як покриття SiC, покриття TaC, скловуглецеве покриття, піролітичне вуглецеве покриття тощо. Ці продукти широко використовуються у фотоелектричній, напівпровідниковій, новій енергетиці, металургії тощо.

Наша технічна команда складається з провідних вітчизняних дослідницьких установ і розробила численні запатентовані технології для забезпечення продуктивності та якості продукції, а також може запропонувати клієнтам професійні рішення щодо матеріалів.