Носачот за обложување од SiC за RTP/RTA е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници наречени брза термичка обработка и жарење, ние ја користиме нашата патентирана технологија за да го направиме носачот од силициум карбид со исклучително висока чистота, добра униформност на облогата и одличен век на траење, како и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.
Карактеристики на нашите производи:
1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока тврдост, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни
| КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога | |
| 性质 / Имот | 典型数值 / Типична вредност |
| 晶体结构 / Кристална структура | FCC β фаза多晶，主要为（111). |
| 密度 / Густина | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Тврдост | 2500 维氏硬度 (500 g оптоварување) |
| 晶粒大小 / Големина на зрно | 2~10μm |
| 纯度 / Хемиска чистота | 99,99995% |
| 热容 / Топлински капацитет | 640 J·kg-1·К-1 |
| 升华温度 / Температура на сублимација | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Јачина на свиткување | 415 MPa RT 4-точка |
| 杨氏模量 / Јангов модул | 430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалСпроводливост | 300W·m-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy е вистински производител на производи од графит и силициум карбид по нарачка со различни премази како што се SiC премази, TaC премази, стаклен јаглерод, пиролитички јаглеродни премази итн., и може да испорача разни делови по нарачка за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.
Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да ви обезбеди попрофесионални материјални решенија.
Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу премазот и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.
Топло ве поздравуваме да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!
