Носитель покрытия SiC для RTP/RTA является ключевым компонентом, используемым в процессах производства полупроводников, называемых быстрой термической обработкой и отжигом. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления носителя из карбида кремния с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.
Особенности нашей продукции:
1. Стойкость к окислению при высоких температурах до 1700℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность
| ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие | |
| 性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
| 晶体结构 / Кристаллическая структура | FCC β фаза多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Плотность | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твёрдость | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
| 晶粒大小 / Размер зерна | 2~10мкм |
| 纯度 / Химическая чистота | 99,99995% |
| 热容 / Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Температура сублимации | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Прочность на изгиб | 415 МПа RT 4-точечный |
| 杨氏模量 / Модуль Юнга | 430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалПроводимость | 300Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Компания VET Energy является реальным производителем индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., а также может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.
Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.
Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!
