Nosilec prevleke SiC za RTP/RTA je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, imenovanih hitra termična obdelava in žarjenje. Z našo patentirano tehnologijo izdelujemo nosilec silicijevega karbida z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo prevleke in odlično življenjsko dobo, pa tudi z visoko kemično odpornostjo in toplotno stabilnostjo.
Značilnosti naših izdelkov:
1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, soli in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna
| KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremaz | |
| 性质 / Nepremičnina | 典型数值 / Tipična vrednost |
| 晶体结构 / Kristalna struktura | FCC β faza多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Gostota | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Trdota | 2500 维氏硬度（500g obremenitev） |
| 晶粒大小 / VELIKOST ZRNA | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemijska čistost | 99,99995 % |
| 热容 / Toplotna kapaciteta | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovni |
| 杨氏模量 / Youngov modul | 430 Gpa, 4pt upogib, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalPrevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Toplotni raztezek (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy je pravi proizvajalec izdelkov iz grafita in silicijevega karbida po meri z različnimi prevlekami, kot so SiC prevleka, TaC prevleka, prevleka iz steklenega ogljika, pirolizna ogljikova prevleka itd., in lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.
Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.
Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in smo razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki omogoča tesnejšo vez med premazom in podlago ter manjšo nagnjenost k odstopanju.
Vljudno vas vabimo, da obiščete našo tovarno, da se pogovorimo še naprej!
