SiC-belægningsbærer til RTP/RTA er en nøglekomponent, der anvendes i halvlederfremstillingsprocesser kaldet Rapid Thermal Processing & Annealing. Vi bruger vores patenterede teknologi til at fremstille siliciumcarbidbæreren med ekstremt høj renhed, god belægningsensartethed og en fremragende levetid, samt høj kemisk resistens og termiske stabilitetsegenskaber.
Funktioner ved vores produkter:
1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
2. Høj renhed og termisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er den egentlige producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. og kan levere forskellige specialfremstillede dele til halvleder- og solcelleindustrien.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer, og har udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, der kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
