O le SiC Coating Carrier Mo le RTP/RTA o se vaega autū e faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductor e taʻua o le Rapid Thermal Processing & Annealing, matou te faʻaaogaina la matou tekinolosi ua pateniina e fai ai le silicon carbide carrier ma le maualuga tele o le mama, lelei le tutusa o le ufiufi ma se olaga tautua sili ona lelei, faʻapea foʻi ma le teteʻe maualuga i vailaʻau ma le mautu o le vevela.
Vaega o a matou oloa:
1. Tete'e atu i le fa'ama'i o le vevela maualuga e o'o atu i le 1700 ℃.
2. Mama maualuga ma le tutusa o le vevela
3. Tete'e lelei i le 'ele: 'āsi, alkali, masima ma vaila'au fa'aola.
4. Ma'a'a maualuga, laualuga mafiafia, fasi manifinifi.
5. Umi atu le ola tautua ma sili atu ona tumau
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Uiga faaletino faavae o le CVD SiCufiufi | |
| 性质 / Meatotino | 典型数值 / Taua Masani |
| 晶体结构 / Fausaga o le Kilisitala | Vaega β o le FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Mafiafia | 3.21 kalama/cm³ |
| 硬度 / Faigata | 2500 维氏硬度（500g uta） |
| 晶粒大小 / Tele o le saito | 2~10μm |
| 纯度 / Mamā Fa'akemikolo | 99.99995% |
| 热容 / Malosiaga o le Vevela | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Vevela o le Sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Malosiaga Fa'alava | 415 MPa RT 4-point |
| 杨氏模量 / Modulus a Young | 430 Gpa 4pt pi'o, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalAmioga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Fa'alauteleina o le Vevela (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
O le VET Energy o le kamupani gaosi oloa fa'apitoa mo le graphite ma le silicon carbide ma oloa vali eseese e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi, e mafai ona sapalai vaega eseese fa'apitoa mo le alamanuia semiconductor ma le photovoltaic.
O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo oe.
Matou te faʻaauau pea ona atiaʻe ni faiga faʻaonaponei e tuʻuina atu ai meafaitino e sili atu ona faʻaonaponei, ma ua matou faia se tekinolosi faʻapitoa ua pateniina, lea e mafai ona faʻamautu ai le pipii i le va o le ufiufi ma le mea e fai ai ma faʻaitiitia ai le faigofie ona motusia.
Faafeiloa'i atu ma le agalelei oe e asiasi mai i la matou fale gaosimea, se'i o tatou faia nisi talanoaga!
