Носителят на SiC покритие за RTP/RTA е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, наречени бърза термична обработка и отгряване. Ние използваме нашата патентована технология, за да направим носителя от силициев карбид с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и с висока химическа устойчивост и термична стабилност.
Характеристики на нашите продукти:
1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив
| ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие | |
| 性质 / Имот | 典型数值 / Типична стойност |
| 晶体结构 / Кристална структура | FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Плътност | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твърдост | 2500 维氏硬度（500g товар） |
| 晶粒大小 / Размер на зърното | 2~10μm |
| 纯度 / Химическа чистота | 99,99995% |
| 热容 / Топлинен капацитет | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Температура на сублимация | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
| 杨氏模量 / Модул на Юнг | 430 Gpa 4pt огъване, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалПроводимост | 300W·m-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Термично разширение (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy е истинският производител на персонализирани графитни и силициево-карбидни продукти с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.
Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.
Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-съвременни материали, и сме разработили ексклузивна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и основата по-здрава и по-малко податлива на отлепване.
Сърдечно Ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека обсъдим по-нататък!
