आरटीपी/आरटीए के लिए SiC कोटिंग वाहक

संक्षिप्त वर्णन:

RTP/RTA के लिए VET एनर्जी SiC कोटिंग कैरियर एक उच्च-प्रदर्शन उत्पाद है जिसे लंबे समय तक लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसमें बहुत अच्छा ताप प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध है, जो इसे वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही समाधान बनाता है।

 

 


  • उत्पत्ति का स्थान :चीन
  • क्रिस्टल की संरचना :एफसीसीβचरण
  • घनत्व :3.21 ग्राम/सेमी;
  • कठोरता :2500 विकर्स;
  • अनाज आकार :2~10μm;
  • रासायनिक शुद्धता :99.99995%;
  • ताप की गुंजाइश :640जूल·किग्रा-1·के-1;
  • उर्ध्वपातन तापमान :2700℃;
  • फेलेक्सुरल ताकत :415 एमपीए (आरटी 4-पॉइंट);
  • यंग मापांक:430 जीपीए (4pt बेंड, 1300℃);
  • थर्मल विस्तार (सीटीई) :4.5 10-6के-1;
  • ऊष्मीय चालकता:300(डब्ल्यू/एमके);
  • उत्पाद विवरण

    उत्पाद टैग

    आरटीपी/आरटीए के लिए एसआईसी कोटिंग वाहक एक प्रमुख घटक है जिसका उपयोग रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग और एनीलिंग नामक अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में किया जाता है, हम अपनी पेटेंट प्रौद्योगिकी का उपयोग सिलिकॉन कार्बाइड वाहक को अत्यधिक उच्च शुद्धता, अच्छी कोटिंग एकरूपता और उत्कृष्ट सेवा जीवन के साथ-साथ उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुणों के साथ बनाने के लिए करते हैं।

    हमारे उत्पादों की विशेषताएं:

    1. 1700℃ तक उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध।
    2. उच्च शुद्धता और तापीय एकरूपता
    3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों।

    4. उच्च कठोरता, सघन सतह, महीन कण।
    5. लंबी सेवा जीवन और अधिक टिकाऊ

    सीवीडी SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC के मूल भौतिक गुणकलई करना

    性质 / संपत्ति

    典型数值 / विशिष्ट मूल्य

    यह बहुत अच्छा है / क्रिस्टल की संरचना

    एफसीसी β चरण多晶,主要为(111)取向

    密度 / घनत्व

    3.21 ग्राम/सेमी³

    硬度 / कठोरता

    2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)

    晶粒大小 / अनाज आकार

    2~10μm

    纯度 / रासायनिक शुद्धता

    99.99995%

    热容 / ताप की गुंजाइश

    640 जूल·किग्रा-1·के-1

    升华温度 / उर्ध्वपातन तापमान

    2700℃

    抗弯强度 / आनमनी सार्मथ्य

    415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट

    杨氏模量 / यंग मापांक

    430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

    导热系数 / थर्माएलप्रवाहकत्त्व

    300W·मी-1·के-1

    热膨胀系数 / तापीय विस्तार(सीटीई)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    वीईटी एनर्जी विभिन्न कोटिंग्स जैसे कि SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग आदि के साथ अनुकूलित ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादों का वास्तविक निर्माता है, जो सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योग के लिए विभिन्न अनुकूलित भागों की आपूर्ति कर सकता है।

    हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।

    हम अधिक उन्नत सामग्री उपलब्ध कराने के लिए निरंतर उन्नत प्रक्रियाओं का विकास करते रहते हैं, तथा एक विशिष्ट पेटेंट प्रौद्योगिकी पर काम किया है, जो कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच के संबंध को अधिक सुदृढ़ बना सकती है तथा इसके अलग होने की संभावना को कम कर सकती है।

    गरमी से हमारे कारखाने का दौरा करने के लिए आपका स्वागत है, चलो आगे चर्चा!

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