سی وی ڈی کوٹنگ

اعلی درجے کی سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے سی وی ڈی کوٹنگز

اہم سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ ماحول کے لیے انجینئرڈ، ہمارے کیمیائی بخارات جمع (CVD) سلیکون کاربائیڈ (SiC)، ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC)، اور پائرولیٹک کاربن (PyC) کوٹنگز شاندار کیمیائی جڑت، انتہائی تھرمل استحکام، اور انتہائی اعلیٰ پی پی ایم 5 پیورٹی فراہم کرتے ہیں۔ اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ اور سیرامک سبسٹریٹس کو جارحانہ پلازما، رد عمل والی گیسوں اور ہائی تھرمل سائیکلنگ سے بچانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، ہماری جدید کوٹنگز ذرات کی پیداوار کو کم سے کم کرتی ہیں اور اجزاء کی عمر میں نمایاں طور پر توسیع کرتی ہیں۔Silicon/SiC Epitaxy، MOCVD، پلازما Etching، اور Monocrystal Growthایپلی کیشنز

انتہائی اعلیٰ پاکیزگی (<5 ppm)

اہم عمل میں ویفر کی آلودگی کو روکنے کے لیے GDMS سے تصدیق شدہ کم دھاتی نجاست۔

سپیریئر پلازما اور گیس مزاحمت

گھنے کرسٹل کا ڈھانچہ ہالوجن پلازما (CF₄، NF₃، Cl₂) اور سنکنرن گیسوں سے بچاتا ہے۔

آپٹمائزڈ تھرمل میچنگ

سخت CTE کنٹرول شدید تھرمل جھٹکوں میں مائکرو کریکنگ اور کوٹنگ ڈیلامینیشن کو ختم کرتا ہے۔

کوٹنگ کی قسم	کلیدی تکنیکی فائدہ	بنیادی عمل کی درخواست
سی وی ڈی سی سی کوٹنگ	اعلی تھرمل چالکتا، بہترین پلازما کٹاؤ مزاحمت	Dry Etch، Si Epitaxy، MOCVD، کرسٹل گروتھ
CVD TaC کوٹنگ	انتہائی درجہ حرارت کے خلاف مزاحمت (>2000°C)، H₂/SiH₄ سنکنرن رکاوٹ	SiC Epitaxy، سنگل کرسٹل SiC PVT گروتھ
پی سی کوٹنگ	ہرمیٹک گیس سگ ماہی، انتہائی ہموار انیسوٹروپک کاربن کی سطح	تھرمل فیلڈ موصلیت، CZ Monocrystalline Silicon