အဆင့်မြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် CVD အလွှာများ
အရေးကြီးသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ကျွန်ုပ်တို့၏ Chemical Vapor Deposition (CVD) Silicon Carbide (SiC)၊ Tantalum Carbide (TaC) နှင့် Pyrolytic Carbon (PyC) အပေါ်ယံလွှာများသည် ထူးချွန်သော ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုမရှိခြင်း၊ အလွန်အမင်း အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု (< 5 ppm) ကို ပေးစွမ်းသည်။ မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုရှိသော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် ကြွေထည်အောက်ခံများကို ရန်လိုသော ပလာစမာ၊ ဓာတ်ပြုဖြစ်စဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် မြင့်မားသော အပူလည်ပတ်မှုတို့မှ ကာကွယ်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ကျွန်ုပ်တို့၏ အဆင့်မြင့် အပေါ်ယံလွှာများသည် အမှုန်ထုတ်လုပ်မှုကို လျှော့ချပေးပြီး အစိတ်အပိုင်းသက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးချဲ့ပေးပါသည်။ဆီလီကွန်/SiC Epitaxy၊ MOCVD၊ Plasma Etching နှင့် Monocrystal ကြီးထွားမှုအပလီကေးရှင်းများ။
အရေးကြီးသော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ဝေဖာညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ရန်အတွက် GDMS မှ အတည်ပြုထားသော သတ္တုညစ်ညမ်းမှုနည်းသည်။
သိပ်သည်းသော ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံသည် ဟေလိုဂျင်ပလာစမာ (CF₄၊ NF₃၊ Cl₂) နှင့် ချေးတက်စေသောဓာတ်ငွေ့များမှ ကာကွယ်ပေးသည်။
CTE တင်းကျပ်သော ထိန်းချုပ်မှုသည် ပြင်းထန်သော အပူရှော့ခ်များအောက်တွင် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့် အက်ကွဲခြင်းနှင့် အပေါ်ယံလွှာ ကွာကျခြင်းကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။
| အပေါ်ယံလွှာအမျိုးအစား | အဓိက နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက် | အဓိကလုပ်ငန်းစဉ်လျှောက်လွှာ |
|---|---|---|
| CVD SiC အလွှာ | အပူစီးကူးမှုမြင့်မားခြင်း၊ ပလာစမာတိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ကောင်းမွန်ခြင်း | Dry Etch၊ Si Epitaxy၊ MOCVD၊ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု |
| CVD TaC အလွှာ | အပူချိန်အလွန်အမင်းခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း (>၂၀၀၀°C)၊ H₂/SiH₄ ချေးခြင်းအတားအဆီး | SiC Epitaxy၊ တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ SiC PVT ကြီးထွားမှု |
| PyC အပေါ်ယံလွှာ | လေလုံဓာတ်ငွေ့ဖြင့် လုံအောင်ပိတ်ခြင်း၊ အလွန်ချောမွေ့သော anisotropic ကာဗွန်မျက်နှာပြင် | အပူစက်ကွင်း လျှပ်ကာ၊ CZ Monocrystalline Silicon |
-
Epitaxy ပစ္စည်းကိရိယာအတွက် TaC ဖြင့်ဖုံးအုပ်ထားသော Susceptor
-
တန္တလမ်ကာဗိုက်ဒ်ဖြင့်ဖုံးအုပ်ထားသော အပိုင်းလက်စွပ်
-
ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံဖြင့် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော အစိုင်အခဲ CVD SiC အစုအဝေး
-
မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော tantalum carbide ဖြင့်ဖုံးအုပ်ထားသော porous...
-
Tantalum carbide ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော porous graphite ပစ္စည်း
-
တန္တလမ်ကာဗိုက်အပေါ်ယံလွှာလမ်းညွှန်လက်စွပ်များ
-
တန္တလမ်ကာဗိုက်အပေါ်ယံလွှာလက်စွပ်
-
စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော TaC အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက် Crucible
-
TaC အပေါ်ယံလွှာလမ်းညွှန်လက်စွပ်