سي وي ڊي ڪوٽنگ

ترقي يافته سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ لاءِ سي وي ڊي ڪوٽنگون

نازڪ سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ واري ماحول لاءِ انجنيئر ٿيل، اسان جا ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (CVD) سلڪون ڪاربائيڊ (SiC)، ٽينٽلم ڪاربائيڊ (TaC)، ۽ پائروليٽڪ ڪاربن (PyC) ڪوٽنگ شاندار ڪيميائي انرٽينس، انتهائي حرارتي استحڪام، ۽ الٽرا هاءِ پاڪائي (<5 ppm) فراهم ڪن ٿا. اعليٰ پاڪائي واري گريفائيٽ ۽ سيرامڪ سبسٽريٽس کي جارحاڻي پلازما، رد عمل واري عمل گيسن، ۽ اعليٰ حرارتي سائيڪلنگ کان بچائڻ لاءِ ٺهيل، اسان جا جديد ڪوٽنگ ذرات جي پيداوار کي گھٽ ڪن ٿا ۽ جزو جي عمر کي خاص طور تي وڌائين ٿا.سلڪون/سي آءِ سي ايپيٽيڪسي، ايم او سي وي ڊي، پلازما ايچنگ، ۽ مونو ڪرسٽل گروٿدرخواستون.

انتهائي اعليٰ پاڪائي (< 5 پي پي ايم)

نازڪ عملن ۾ ويفر آلودگي کي روڪڻ لاءِ GDMS-تصديق ٿيل گهٽ ڌاتو جي نجاست.

اعليٰ پلازما ۽ گئس مزاحمت

گهاٽو ڪرسٽل ڍانچو هيلوجن پلازما (CF₄، NF₃، Cl₂) ۽ corrosive گيسن کان بچائيندو آهي.

بهتر ڪيل حرارتي ميچنگ

سخت سي ٽي اي ڪنٽرول سخت حرارتي جھٽڪن جي تحت مائڪرو ڪريڪنگ ۽ ڪوٽنگ ڊيليمينيشن کي ختم ڪري ٿو.

ڪوٽنگ جو قسم	اهم ٽيڪنيڪل فائدو	بنيادي عمل جي درخواست
سي وي ڊي سي سي ڪوٽنگ	اعلي حرارتي چالکائي، بهترين پلازما ڪٽڻ جي مزاحمت	خشڪ ايچ، سي ايپيٽيڪسي، ايم او سي وي ڊي، ڪرسٽل گروٿ
سي وي ڊي ٽي سي ڪوٽنگ	انتهائي گرمي پد جي مزاحمت (>2000°C)، H₂/SiH₄ سنکنرن جي رڪاوٽ	سي آءِ سي ايپيٽيڪسي، سنگل-ڪرسٽل سي آءِ سي پي وي ٽي واڌ
پي سي ڪوٽنگ	هرميٽڪ گئس سيلنگ، الٽرا هموار اينيسوٽروپڪ ڪاربن مٿاڇري	حرارتي ميدان جي موصليت، CZ مونو ڪرسٽل لائن سلڪون