ਐਡਵਾਂਸਡ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ ਸੀਵੀਡੀ ਕੋਟਿੰਗਸ
ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ, ਸਾਡੇ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ (CVD) ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC), ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC), ਅਤੇ ਪਾਈਰੋਲਾਈਟਿਕ ਕਾਰਬਨ (PyC) ਕੋਟਿੰਗ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ, ਅਤਿਅੰਤ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ, ਅਤੇ ਅਤਿ-ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ (<5 ppm) ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਅਤੇ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਨੂੰ ਹਮਲਾਵਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ, ਅਤੇ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਤੋਂ ਬਚਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ, ਸਾਡੇ ਉੱਨਤ ਕੋਟਿੰਗ ਕਣ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਭਾਗਾਂ ਦੀ ਉਮਰ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ।ਸਿਲੀਕਾਨ/SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀ, MOCVD, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ, ਅਤੇ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗ੍ਰੋਥਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ।
ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ ਦੂਸ਼ਣ ਨੂੰ ਰੋਕਣ ਲਈ GDMS-ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਘੱਟ ਧਾਤੂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ।
ਸੰਘਣੀ ਕ੍ਰਿਸਟਲਿਨ ਬਣਤਰ ਹੈਲੋਜਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ (CF₄, NF₃, Cl₂) ਅਤੇ ਖੋਰ ਵਾਲੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਤੋਂ ਬਚਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਸਖ਼ਤ CTE ਨਿਯੰਤਰਣ ਗੰਭੀਰ ਥਰਮਲ ਝਟਕਿਆਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਡੀਲੇਮੀਨੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦਾ ਹੈ।
| ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਕਿਸਮ | ਮੁੱਖ ਤਕਨੀਕੀ ਫਾਇਦਾ | ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਰਜ਼ੀ |
|---|---|---|
| CVD SiC ਕੋਟਿੰਗ | ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਕਟੌਤੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ | ਡਰਾਈ ਐਚ, ਸੀ ਐਪੀਟੈਕਸੀ, ਐਮਓਸੀਵੀਡੀ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਗ੍ਰੋਥ |
| ਸੀਵੀਡੀ ਟੀਏਸੀ ਕੋਟਿੰਗ | ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ (>2000°C), H₂/SiH₄ ਖੋਰ ਰੁਕਾਵਟ | SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀ, ਸਿੰਗਲ-ਕ੍ਰਿਸਟਲ SiC PVT ਗ੍ਰੋਥ |
| PyC ਕੋਟਿੰਗ | ਹਰਮੇਟਿਕ ਗੈਸ ਸੀਲਿੰਗ, ਅਤਿ-ਨਿਰਵਿਘਨ ਐਨੀਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਕਾਰਬਨ ਸਤ੍ਹਾ | ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ, CZ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ |
-
ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਉਪਕਰਨ ਲਈ TaC ਕੋਟੇਡ ਸਸੈਪਟਰ
-
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਸੈਗਮੈਂਟ ਰਿੰਗ
-
ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਬੇਸ ਦੇ ਨਾਲ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਠੋਸ CVD SiC ਥੋਕ
-
ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲਾ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਪੋਰਸ...
-
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਪੋਰਸ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ
-
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ
-
ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਰਿੰਗ
-
ਅਨੁਕੂਲਿਤ TaC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ
-
TaC ਕੋਟਿੰਗ ਗਾਈਡ ਰਿੰਗ