അഡ്വാൻസ്ഡ് സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോസസ്സിംഗിനുള്ള സിവിഡി കോട്ടിംഗുകൾ

നിർണായകമായ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പരിതസ്ഥിതികൾക്കായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന ഞങ്ങളുടെ കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC), ടാന്റലം കാർബൈഡ് (TaC), പൈറോലൈറ്റിക് കാർബൺ (PyC) കോട്ടിംഗുകൾ മികച്ച രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം, അങ്ങേയറ്റത്തെ താപ സ്ഥിരത, അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി (< 5 ppm) എന്നിവ നൽകുന്നു. ആക്രമണാത്മക പ്ലാസ്മ, റിയാക്ടീവ് പ്രോസസ് വാതകങ്ങൾ, ഉയർന്ന താപ സൈക്ലിംഗ് എന്നിവയിൽ നിന്ന് ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ്, സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളെ സംരക്ഷിക്കുന്നതിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌തിരിക്കുന്ന ഞങ്ങളുടെ നൂതന കോട്ടിംഗുകൾ കണിക ഉത്പാദനം കുറയ്ക്കുകയും ഘടകങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.സിലിക്കൺ/SiC എപ്പിറ്റാക്സി, MOCVD, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ്, മോണോക്രിസ്റ്റൽ ഗ്രോത്ത്അപേക്ഷകൾ.