উন্নত সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের জন্য CVD কোটিং
গুরুত্বপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন পরিবেশের জন্য বিশেষভাবে তৈরি, আমাদের কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (CVD) সিলিকন কার্বাইড (SiC), ট্যান্টালাম কার্বাইড (TaC), এবং পাইরোলিটিক কার্বন (PyC) কোটিংগুলো অসাধারণ রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা, চরম তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা (< 5 ppm) প্রদান করে। উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট এবং সিরামিক সাবস্ট্রেটকে ক্ষতিকর প্লাজমা, প্রতিক্রিয়াশীল প্রসেস গ্যাস এবং উচ্চ তাপীয় চক্র থেকে রক্ষা করার জন্য ডিজাইন করা আমাদের এই উন্নত কোটিংগুলো কণার উৎপাদন কমিয়ে আনে এবং যন্ত্রাংশের আয়ুষ্কাল উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়িয়ে দেয়।সিলিকন/এসআইসি এপিট্যাক্সি, এমওসিভিডি, প্লাজমা এচিং এবং মনোক্রিস্টাল গ্রোথঅ্যাপ্লিকেশন।
গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়াগুলিতে ওয়েফার দূষণ রোধ করার জন্য GDMS দ্বারা যাচাইকৃত স্বল্প ধাতব অশুদ্ধি।
ঘন স্ফটিক কাঠামো হ্যালোজেন প্লাজমা (CF₄, NF₃, Cl₂) এবং ক্ষয়কারী গ্যাস থেকে সুরক্ষা প্রদান করে।
কঠোর CTE নিয়ন্ত্রণ তীব্র তাপীয় অভিঘাতের অধীনে ক্ষুদ্র ফাটল এবং আবরণের স্তরবিচ্ছিন্নতা দূর করে।
| আবরণের ধরণ | মূল প্রযুক্তিগত সুবিধা | প্রাথমিক প্রক্রিয়া প্রয়োগ |
|---|---|---|
| CVD SiC কোটিং | উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, চমৎকার প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা | ড্রাই এচ, Si এপিট্যাক্সি, MOCVD, ক্রিস্টাল গ্রোথ |
| CVD TaC কোটিং | চরম তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা (>2000°C), H₂/SiH₄ ক্ষয় প্রতিরোধক | SiC এপিট্যাক্সি, একক-স্ফটিক SiC PVT বৃদ্ধি |
| পাইসি কোটিং | হারমেটিক গ্যাস সিলিং, অতি-মসৃণ অ্যানাইসোট্রপিক কার্বন পৃষ্ঠ | তাপীয় ক্ষেত্র নিরোধক, সিজেড মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন |
-
এপিট্যাক্সি সরঞ্জামের জন্য TaC প্রলিপ্ত সাসসেপ্টর
-
ট্যান্টালাম কার্বাইড প্রলিপ্ত সেগমেন্ট রিং
-
গ্রাফাইট ভিত্তিক উচ্চ বিশুদ্ধ কঠিন CVD SiC বাল্ক
-
উচ্চ-কর্মক্ষমতাসম্পন্ন ট্যান্টালাম কার্বাইড প্রলেপযুক্ত ছিদ্রযুক্ত...
-
ট্যান্টালাম কার্বাইড প্রলেপযুক্ত ছিদ্রযুক্ত গ্রাফাইট উপাদান
-
ট্যান্টালাম কার্বাইড আবরণ গাইড রিং
-
ট্যান্টালাম কার্বাইড আবরণ রিং
-
কাস্টমাইজড TaC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট ক্রুসিবল
-
TaC কোটিং গাইড রিং