4″ 6″ 8″ SiC-waferboot vir horisontale oond

4" 6" 8" SiC-waferboot vir horisontale oond

SiC-waferboot vir horisontale oondis hoofsaaklik vir die ondersteuning en vervoer van die wafers in hoëtemperatuur-termiese prosesse van halfgeleierwafers soos diffusie, oksidasie en uitgloeiing. Die werkverrigting daarvan beïnvloed direk die waferprodukkwaliteit en produksiedoeltreffendheid.

Die strukturele ontwerpe van silikonkarbied waferboot:
Het tipies 'n gleuf- of kamagtige struktuur;
Verskeie gleuwe vir die plasing en skeiding van wafers;
Ontwerp om gasvloeiverspreiding in ag te neem, wat eenvormige verhitting en verkoeling verseker;
Geskik vir vertikale oond en horisontale oond;
Ontwerp vir verskillende groottes soos 3 duim, 4 duim, 6 duim, 8 duim, 12 duim wafels.

VET Energy se silikonkarbied-waferbote word vervaardig met behulp van gevorderde sintertegnologie en is spesifiek ontwerp om te voldoen aan die streng prosesdraervereistes van gevorderde halfgeleiervervaardiging. Hul superieure tegniese voordele word hoofsaaklik in die volgende aspekte weerspieël:

1. Ultieme Suiwerheid en Ultra-Lae Besoedeling
Deur gebruik te maak van ultra-hoë suiwerheid grondstowwe, verseker ons dat die produk 'n uiters lae metaaliooninhoud het (minder as 1 dpm vir Na, K, Fe en Ca). Minimale neerslag by hoë temperature voorkom effektief waferkontaminasie, wat hoë skyfie-opbrengs en betroubaarheid verseker, wat hulle 'n ideale keuse maak vir diegene wat na prosesperfeksie streef.
2. Uitstekende termiese werkverrigting en stabiliteit
Ons SiC-waferboot beskik oor uiters hoë termiese geleidingsvermoë en uitstekende termiese skokweerstand. Hulle kan vinnige temperatuurskommelings van kamertemperatuur tot 1600 ℃ weerstaan ​​sonder om te kraak of te vervorm, wat prosesherhaalbaarheid en konsekwentheid verseker en onbeplande stilstandtyd as gevolg van draerprobleme aansienlik verminder.
3. Buitengewone korrosieweerstand en meganiese sterkte
Hoë hardheid en sterk slytasieweerstand, tesame met uitsonderlike weerstand teen suur en alkaliese omgewings, oortref kwarts en grafiet verreweg. Die uitsonderlike meganiese sterkte daarvan voorkom effektief deeltjievorming tydens gereelde outomatiese hantering, wat die lewensduur aansienlik verleng en die algehele bedryfskoste verminder.
4. Presisie-ontwerp en uitstekende konsekwentheid
Deur gebruik te maak van gevorderde vorm- en verwerkingstegnologieë, verseker ons dat elke waferboot presiese geometriese afmetings en uitstekende oppervlakakkuraatheid besit, wat eenvormige waferspasiëring en stabiele lugvloei verseker.

Die skoonmaak en onderhoud van SiC-waferboot:
Vereis gereelde skoonmaak om potensiële neerslae te verwyder;
Gebruik gespesialiseerde skoonmaakoplossings en -metodes om skade te voorkom;