4" 6" 8" SiC-waferboat foar horizontale oven
SiC waferboat foar horizontale ovenis primêr bedoeld foar it stypjen en transportearjen fan wafers yn hege-temperatuer termyske prosessen fan healgeleiderwafers lykas diffúzje, oksidaasje en gloeien. De prestaasjes hawwe direkt ynfloed op de kwaliteit fan it waferprodukt en de produksje-effisjinsje.
De strukturele ûntwerpen fan silisiumkarbide waferboat:
Hat typysk in sleuven- of kam-achtige struktuer;
Meardere slots foar it pleatsen en skieden fan wafers;
Untworpen om rekken te hâlden mei de ferdieling fan gasstream, wêrtroch unifoarme ferwaarming en koeling garandearre wurde;
Geskikt foar fertikale oven en horizontale oven;
Untworpen foar ferskate maten lykas 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch, 12 inch wafers.
De silisiumkarbide waferboaten fan VET Energy wurde makke mei avansearre sintertechnology en binne spesifyk ûntworpen om te foldwaan oan de strange easken foar prosesdragers fan avansearre healgeleiderproduksje. Harren superieure technyske foardielen wurde benammen wjerspegele yn 'e folgjende aspekten:
1. Ultimative suverens en ultra-lege fersmoarging
Mei help fan ultra-heech-suvere grûnstoffen soargje wy derfoar dat it produkt in ekstreem leech metaalionengehalte hat (minder as 1 ppm foar Na, K, Fe en Ca). Minimale delslach by hege temperatueren foarkomt effektyf waferfersmoarging, wêrtroch in hege chipopbringst en betrouberens garandearre wurde, wêrtroch't se in ideale kar binne foar dyjingen dy't stribje nei prosesperfeksje.
2. Uitstekende termyske prestaasjes en stabiliteit
Us SiC-waferboat hat in ekstreem hege termyske geliedingsfermogen en poerbêste termyske skokbestindigens. Se kinne rappe temperatuerfluktuaasjes fan keamertemperatuer oant 1600 ℃ wjerstean sûnder te barsten of te deformearjen, wêrtroch't de werhelling en konsistinsje fan it proses garandearre wurdt, en net-plande downtime fanwegen problemen mei de drager signifikant ferminderet.
3. Bûtengewoane korrosjebestriding en meganyske sterkte
Hege hurdens en sterke slijtvastheid, tegearre mei útsûnderlike wjerstân tsjin soere en alkaline omjouwings, oertreft kwarts en grafyt fierwei. De útsûnderlike meganyske sterkte foarkomt effektyf dieltsjegeneraasje by faak automatisearre ôfhanneling, wêrtroch't de libbensdoer signifikant ferlingd wurdt en de totale eksploitaasjekosten fermindere wurde.
4. Presyzjeûntwerp en poerbêste konsistinsje
Troch gebrûk te meitsjen fan avansearre foarmjouwings- en ferwurkingstechnologyen soargje wy derfoar dat elke waferboat krekte geometryske ôfmjittings en poerbêste oerflakkrektens hat, wêrtroch't unifoarme waferôfstân en stabile luchtstream wurde garandearre.
It skjinmeitsjen en ûnderhâld fan SiC-waferboat:
Fereasket regelmjittige skjinmeitsjen om potinsjele ôfsettings te ferwiderjen;
Brûkt spesjalisearre skjinmeitsoplossingen en metoaden om skea te foarkommen;
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysyske eigenskippen fan rekristallisearre silisiumkarbid | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typyske wearde |
| 使用温度/ Wurktemperatuer (°C) | 1600 °C (mei soerstof), 1700 °C (redusearjende omjouwing) |
| SiC含量/ SiC-ynhâld | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Fergese Si-ynhâld | < 0,1% |
| 体积密度/Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm³3 |
| 气孔率/ Skynbere porositeit | < 16% |
| 抗压强度/ Kompresjesterkte | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kâlde bûgingssterkte | 80-90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Sterkte fan waarme bûging | 90-100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Termyske útwreiding @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Termyske geliedingsfermogen @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastyske modulus | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termyske skokbestindigens | Ekstreem goed |
VET Energy is in profesjonele fabrikant dy't him rjochtet op R&D en produksje fan high-end avansearre materialen lykas grafyt, silisiumkarbid, kwarts, en ek materiaalbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzige koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh. De produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche enerzjy, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.
Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.
Foardielen fan VET Energy omfetsje:
• Eigen fabryk en profesjoneel laboratoarium;
• Yndustryliedende suverheidsnivo's en kwaliteit;
• Kompetitive priis & Snelle levertiid;
• Meardere yndustrypartnerskippen wrâldwiid;
Wy ferwolkomje jo om ús fabryk en laboratoarium op elk momint te besykjen!
