অনুভূমিক চুল্লির জন্য ৪″, ৬″, ৮″ SiC ওয়েফার বোট

হরাইজন্টাল ফার্নেসের জন্য ৪", ৬", ৮" SiC ওয়েফার বোট

অনুভূমিক চুল্লির জন্য SiC ওয়েফার বোটএর প্রধান কাজ হলো সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের উচ্চ-তাপমাত্রার থার্মাল প্রসেস, যেমন ডিফিউশন, অক্সিডেশন এবং অ্যানিলিং-এর সময় ওয়েফারগুলোকে সাপোর্ট দেওয়া ও পরিবহন করা। এর কার্যকারিতা সরাসরি ওয়েফার পণ্যের গুণমান এবং উৎপাদন দক্ষতাকে প্রভাবিত করে।

সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোটের কাঠামোগত নকশা:
সাধারণত এর একটি খাঁজকাটা বা চিরুনির মতো গঠন থাকে;
ওয়েফার রাখা ও আলাদা করার জন্য একাধিক স্লট;
গ্যাস প্রবাহের বন্টন বিবেচনা করে ডিজাইন করা হয়েছে, যা সুষমভাবে তাপ দেওয়া ও ঠান্ডা করা নিশ্চিত করে;
উল্লম্ব এবং অনুভূমিক উভয় প্রকার চুল্লির জন্য উপযুক্ত;
৩ ইঞ্চি, ৪ ইঞ্চি, ৬ ইঞ্চি, ৮ ইঞ্চি, ১২ ইঞ্চির মতো বিভিন্ন আকারের ওয়েফারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।

VET এনার্জির সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোটগুলো উন্নত সিন্টারিং প্রযুক্তি ব্যবহার করে তৈরি করা হয় এবং এগুলো বিশেষভাবে উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের কঠোর প্রসেস ক্যারিয়ার প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এদের উন্নত প্রযুক্তিগত সুবিধাগুলো প্রধানত নিম্নলিখিত দিকগুলোতে প্রতিফলিত হয়:

১. চূড়ান্ত বিশুদ্ধতা এবং অতি-নিম্ন দূষণ
অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধ কাঁচামাল ব্যবহার করে আমরা নিশ্চিত করি যে পণ্যটিতে ধাতব আয়নের পরিমাণ অত্যন্ত কম থাকে (Na, K, Fe, এবং Ca-এর ক্ষেত্রে ১ পিপিএম-এরও কম)। উচ্চ তাপমাত্রায় ন্যূনতম অধঃক্ষেপণ কার্যকরভাবে ওয়েফার দূষণ প্রতিরোধ করে, যা উচ্চ চিপ উৎপাদন হার এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে। ফলে, যারা প্রক্রিয়ার উৎকর্ষ সাধনে সচেষ্ট, তাদের জন্য এটি একটি আদর্শ পছন্দ।
২. চমৎকার তাপীয় কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীলতা
আমাদের SiC ওয়েফার বোটের তাপ পরিবাহিতা অত্যন্ত বেশি এবং তাপীয় অভিঘাত প্রতিরোধ ক্ষমতা চমৎকার। এগুলি ফাটল বা বিকৃতি ছাড়াই কক্ষ তাপমাত্রা থেকে ১৬০০℃ পর্যন্ত দ্রুত তাপমাত্রার ওঠানামা সহ্য করতে পারে, যা প্রক্রিয়ার পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ও ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে এবং ক্যারিয়ার সংক্রান্ত সমস্যার কারণে সৃষ্ট অপ্রত্যাশিত কর্মবিরতির সময় উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।
৩. অসাধারণ ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং যান্ত্রিক শক্তি
এর উচ্চ কাঠিন্য ও শক্তিশালী ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, সেইসাথে অম্লীয় ও ক্ষারীয় পরিবেশে অসাধারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা, কোয়ার্টজ ও গ্রাফাইটকে বহুগুণে ছাড়িয়ে যায়। এর ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক শক্তি ঘন ঘন স্বয়ংক্রিয় পরিচালনার সময় কার্যকরভাবে কণা তৈরি হওয়া প্রতিরোধ করে, যা এর কার্যকাল উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়িয়ে দেয় এবং সামগ্রিক পরিচালন ব্যয় হ্রাস করে।
৪. নির্ভুল নকশা এবং চমৎকার সামঞ্জস্য
উন্নত ছাঁচনির্মাণ ও প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি ব্যবহার করে আমরা নিশ্চিত করি যে প্রতিটি ওয়েফার বোটের সুনির্দিষ্ট জ্যামিতিক মাত্রা এবং চমৎকার পৃষ্ঠতল নির্ভুলতা রয়েছে, যা ওয়েফারের সুষম ব্যবধান এবং স্থিতিশীল বায়ুপ্রবাহ নিশ্চিত করে।

SiC ওয়েফার বোটের পরিষ্কার ও রক্ষণাবেক্ষণ:
সম্ভাব্য ময়লা দূর করার জন্য নিয়মিত পরিষ্কার করা প্রয়োজন;
ক্ষতি এড়ানোর জন্য বিশেষায়িত পরিষ্কারক দ্রবণ ও পদ্ধতি ব্যবহার করে;