4″ 6″ 8″ SiC vahvlipaat horisontaalse ahju jaoks

4" 6" 8" SiC vahvlipaat horisontaalse ahju jaoks

SiC vahvelpaat horisontaalse ahju jaokson peamiselt ette nähtud pooljuhtplaatide toetamiseks ja transportimiseks kõrgel temperatuuril toimuvate termiliste protsesside, näiteks difusiooni, oksüdeerimise ja lõõmutamise ajal. Selle jõudlus mõjutab otseselt plaatide tootekvaliteeti ja tootmise efektiivsust.

Ränikarbiidist vahvlipaadi konstruktsioonilised konstruktsioonid:
Tavaliselt on sellel pilu või kammitaoline struktuur;
Mitu pesa vahvlite paigutamiseks ja eraldamiseks;
Kavandatud arvestama gaasivoolu jaotusega, tagades ühtlase kuumutamise ja jahutamise;
Sobib vertikaalse ja horisontaalse ahju jaoks;
Mõeldud erinevatele suurustele, näiteks 3-tollistele, 4-tollistele, 6-tollistele, 8-tollistele ja 12-tollistele vahvlitele.

VET Energy ränikarbiidist vahvlipaadid on valmistatud täiustatud paagutamistehnoloogia abil ja on spetsiaalselt loodud vastama täiustatud pooljuhtide tootmise rangetele protsessikandjate nõuetele. Nende suurepärased tehnilised eelised kajastuvad peamiselt järgmistes aspektides:

1. Ülim puhtus ja ülimadal saastetase
Kasutades ülikõrge puhtusastmega toorainet, tagame, et tootel on äärmiselt madal metalliioonide sisaldus (Na, K, Fe ja Ca puhul alla 1 ppm). Minimaalne sadestumine kõrgetel temperatuuridel hoiab ära tõhusalt kiipide saastumise, tagades suure kiibi saagise ja töökindluse, muutes need ideaalseks valikuks neile, kes püüdlevad protsessi täiuslikkuse poole.
2. Suurepärane termiline jõudlus ja stabiilsus
Meie SiC-kiibipaadil on äärmiselt kõrge soojusjuhtivus ja suurepärane kuumalöögikindlus. Need taluvad kiireid temperatuurikõikumisi toatemperatuurist kuni 1600 ℃-ni ilma pragunemise või deformatsioonita, tagades protsessi korduvuse ja järjepidevuse ning vähendades oluliselt planeerimata seisakuid, mis on tingitud kanduriprobleemidest.
3.Erakordne korrosioonikindlus ja mehaaniline tugevus
Suur kõvadus ja tugev kulumiskindlus koos erakordse vastupidavusega happelisele ja aluselisele keskkonnale ületab kaugelt kvartsi ja grafiiti. Selle erakordne mehaaniline tugevus hoiab tõhusalt ära osakeste tekkimise sagedase automatiseeritud käitlemise ajal, pikendades oluliselt selle kasutusiga ja vähendades üldisi tegevuskulusid.
4. Täppisdisain ja suurepärane järjepidevus
Kasutades täiustatud vormimis- ja töötlemistehnoloogiaid, tagame, et igal vahvlipaadil on täpsed geomeetrilised mõõtmed ja suurepärane pinnatäpsus, tagades vahvlite ühtlase vahekauguse ja stabiilse õhuvoolu.

SiC vahvlipaadi puhastamine ja hooldus:
Vajab regulaarset puhastamist võimalike ladestuste eemaldamiseks;
Kasutab spetsiaalseid puhastuslahuseid ja -meetodeid kahjustuste vältimiseks;