Die GevorderdeSiC-vrydraende peddelvir Waferverwerking, geskep deur vet-china, bied 'n uitstekende oplossing vir halfgeleiervervaardiging. Hierdie vrydraende roeispaan is gemaak van SiC (silikonkarbied) materiaal, en die hoë hardheid en hittebestandheid daarvan stel dit in staat om uitstekende werkverrigting in hoë temperatuur en korrosiewe omgewings te handhaaf. Die ontwerp van die vrydraende roeispaan laat die wafer betroubaar ondersteun word tydens verwerking, wat die risiko van fragmentering en skade verminder.
SiC-vrydraende peddelis 'n gespesialiseerde komponent wat in halfgeleiervervaardigingstoerusting soos oksidasie-oonde, diffusie-oonde en gloei-oonde gebruik word. Die hoofgebruik is vir die laai en aflaai van wafers, en ondersteun en vervoer wafers tydens hoëtemperatuurprosesse.
Algemene strukturevanSiCcanti-lewerpverslawing: 'n Vrydraende struktuur, vas aan die een kant en vry aan die ander kant, het tipies 'n plat en roeispaanagtige ontwerp.
VET Energy gebruik hoë suiwerheid herkristalliseerde silikonkarbied materiale om die gehalte te waarborg.
| Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied | |
| Eiendom | Tipiese Waarde |
| Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met suurstof), 1700°C (reduserende omgewing) |
| SiC-inhoud | > 99.96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0.1% |
| Grootmaatdigtheid | 2.60-2.70 g/cm3 |
| Skynbare porositeit | < 16% |
| Kompressiesterkte | > 600MPa |
| Koue buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Warm buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termiese uitsetting @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Termiese geleidingsvermoë @1200°C | 23W/m•K |
| Elastiese modulus | 240 GPa |
| Termiese skokweerstand | Uiters goed |
Die voordele van VET Energy se Gevorderde SiC-vrydraende Paddle vir Waferverwerking is:
-Hoë temperatuurstabiliteit: bruikbaar in omgewings bo 1600°C;
-Lae termiese uitbreidingskoëffisiënt: handhaaf dimensionele stabiliteit, verminder die risiko van wafervervorming;
-Hoë suiwerheid: laer risiko van metaalbesmetting;
-Chemiese traagheid: korrosiebestand, geskik vir verskeie gasomgewings;
-Hoë sterkte en hardheid: Slytvast, lang lewensduur;
-Goeie termiese geleidingsvermoë: help met eenvormige waferverhitting.
-
C/C-saamgestelde materiale (CFCS) met uitstekende wrywingskrag...
-
Draagbare 1000w 24v Waterstofbrandstofsel Brandstofsel...
-
China Vervaardiger SiC Bedekte Grafiet MOCVD Ep ...
-
Die gasdiffusielaag van die elektrolitiese sel is...
-
100w Brandstofselstapel 12v Waterstofaangedrewe Brandstof ...
-
Hoësterkte-glaskoolstofkroes vir hoëte ...



