Gevorderde SiC-kantileverpeddel vir waferverwerking

Kort beskrywing:

Die Gevorderde SiC-vrydraende roeispaan vir waferverwerking wat deur vet-china bekendgestel is, gebruik hoëtegnologiese SiC-materiale om die doeltreffendheid en presisie van waferverwerking te verbeter. Vet-china se vrydraende roeispaan beskik oor uitstekende hittebestandheid en korrosiebestandheid, wat stabiele waferhanteringsprestasie in strawwe vervaardigingsomgewings verseker, wat dit 'n ideale keuse maak om produksie-opbrengs te verbeter.


Produkbesonderhede

Produk-etikette

Die GevorderdeSiC-vrydraende peddelvir Waferverwerking, geskep deur vet-china, bied 'n uitstekende oplossing vir halfgeleiervervaardiging. Hierdie vrydraende roeispaan is gemaak van SiC (silikonkarbied) materiaal, en die hoë hardheid en hittebestandheid daarvan stel dit in staat om uitstekende werkverrigting in hoë temperatuur en korrosiewe omgewings te handhaaf. Die ontwerp van die vrydraende roeispaan laat die wafer betroubaar ondersteun word tydens verwerking, wat die risiko van fragmentering en skade verminder.

SiC-vrydraende peddelis 'n gespesialiseerde komponent wat in halfgeleiervervaardigingstoerusting soos oksidasie-oonde, diffusie-oonde en gloei-oonde gebruik word. Die hoofgebruik is vir die laai en aflaai van wafers, en ondersteun en vervoer wafers tydens hoëtemperatuurprosesse.

Algemene strukturevanSiCcanti-lewerpverslawing: 'n Vrydraende struktuur, vas aan die een kant en vry aan die ander kant, het tipies 'n plat en roeispaanagtige ontwerp.

VET Energy gebruik hoë suiwerheid herkristalliseerde silikonkarbied materiale om die gehalte te waarborg.

Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied

Eiendom

Tipiese Waarde

Werktemperatuur (°C)

1600°C (met suurstof), 1700°C (reduserende omgewing)

SiC-inhoud

> 99.96%

Gratis Si-inhoud

< 0.1%

Grootmaatdigtheid

2.60-2.70 g/cm3

Skynbare porositeit

< 16%

Kompressiesterkte

> 600MPa

Koue buigsterkte

80-90 MPa (20°C)

Warm buigsterkte

90-100 MPa (1400°C)

Termiese uitsetting @1500°C

4.70 10-6/°C

Termiese geleidingsvermoë @1200°C

23W/m•K

Elastiese modulus

240 GPa

Termiese skokweerstand

Uiters goed

Die voordele van VET Energy se Gevorderde SiC-vrydraende Paddle vir Waferverwerking is:

-Hoë temperatuurstabiliteit: bruikbaar in omgewings bo 1600°C;

-Lae termiese uitbreidingskoëffisiënt: handhaaf dimensionele stabiliteit, verminder die risiko van wafervervorming;

-Hoë suiwerheid: laer risiko van metaalbesmetting;

-Chemiese traagheid: korrosiebestand, geskik vir verskeie gasomgewings;

-Hoë sterkte en hardheid: Slytvast, lang lewensduur;

-Goeie termiese geleidingsvermoë: help met eenvormige waferverhitting.

Vrydraende Paddle10
Vrydraende Paddle16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Vorige:
  • Volgende:

  • WhatsApp Aanlyn Klets!