סירת פרוסות SiC 4 אינץ' 6 אינץ' 8 אינץ' לתנור אופקי

סירת פרוסות SiC 4 אינץ' 6 אינץ' 8 אינץ' לתנור אופקי

סירת פרוסות SiC לתנור אופקימיועד בעיקר לתמיכה והובלת פרוסות סיליקון בתהליכים תרמיים בטמפרטורה גבוהה של פרוסות סיליקון מוליכים למחצה כגון דיפוזיה, חמצון וחישול. ביצועיה משפיעים ישירות על איכות מוצר הוופלים ועל יעילות הייצור.

העיצובים המבניים של סירת פרוסות סיליקון קרביד:
בדרך כלל בעל מבנה מחורץ או דמוי מסרק;
חריצים מרובים להנחת והפרדת ופלים;
מתוכנן תוך התחשבות בחלוקת זרימת הגז, תוך הבטחת חימום וקירור אחידים;
מתאים לתנור אנכי ותנור אופקי;
מיועד לגדלים שונים כגון ופלים של 3 אינץ', 4 אינץ', 6 אינץ', 8 אינץ' ו-12 אינץ'.

סירות פרוסות סיליקון קרביד של VET Energy מיוצרות בטכנולוגיית סינטור מתקדמת ומתוכננות במיוחד לעמוד בדרישות המחמירות של נושאי תהליכים של ייצור מוליכים למחצה מתקדם. יתרונותיהן הטכניים המעולים באים לידי ביטוי בעיקר בהיבטים הבאים:

1. טוהר אולטימטיבי וזיהום נמוך במיוחד
באמצעות חומרי גלם בעלי טוהר גבוה במיוחד, אנו מבטיחים כי למוצר תכולת יוני מתכת נמוכה במיוחד (פחות מ-1 ppm עבור Na, K, Fe ו-Ca). משקעים מינימליים בטמפרטורות גבוהות מונעים ביעילות זיהום פרוסות סיליקון, ומבטיחים תפוקת שבבים גבוהה ואמינות, מה שהופך אותם לבחירה אידיאלית עבור אלו השואפים לשלמות תהליך.
2. ביצועים תרמיים ויציבות מצוינים
סירת פרוסות ה-SiC שלנו בעלת מוליכות תרמית גבוהה במיוחד ועמידות מצוינת בפני הלם תרמי. הן יכולות לעמוד בתנודות טמפרטורה מהירות מטמפרטורת החדר ל-1600 מעלות צלזיוס ללא סדקים או עיוות, מה שמבטיח חזרתיות ועקביות התהליך, ומפחית משמעותית את זמן ההשבתה הלא מתוכנן עקב בעיות בגלאי.
3. עמידות בפני קורוזיה וחוזק מכני יוצאי דופן
קשיות גבוהה ועמידות חזקה בפני שחיקה, יחד עם עמידות יוצאת דופן לסביבות חומציות ובסיסיות, עולים בהרבה על קוורץ וגרפיט. חוזקו המכני יוצא הדופן מונע ביעילות היווצרות חלקיקים במהלך טיפול אוטומטי תכוף, מאריך משמעותית את חיי השירות שלו ומפחית את עלויות התפעול הכוללות.
4. עיצוב מדויק ועקביות מעולה
באמצעות מינוף טכנולוגיות יציקה ועיבוד מתקדמות, אנו מבטיחים שלכל סירת פרוסות ופלים יש מידות גיאומטריות מדויקות ודיוק פני שטח מעולה, מה שמבטיח מרווח אחיד בין פרוסות ופלילים וזרימת אוויר יציבה.

ניקוי ותחזוקה של סירת פרוסות סיליקון:
דורש ניקוי קבוע להסרת משקעים פוטנציאליים;
משתמש בתמיסות ושיטות ניקוי מיוחדות כדי למנוע נזק;