Yatay Fırın İçin 4" 6" 8" SiC Yonga Levha Teknesi

Yatay Fırın İçin 4" 6" 8" SiC Yonga Levha Teknesi

yatay fırın için SiC gofret taşıyıcıEsas olarak, yarı iletken levhaların difüzyon, oksidasyon ve tavlama gibi yüksek sıcaklıktaki termal işlemlerinde levhaların desteklenmesi ve taşınması için kullanılır. Performansı, levha ürün kalitesini ve üretim verimliliğini doğrudan etkiler.

Silisyum karbür levha teknesinin yapısal tasarımları:
Genellikle yarık veya tarak benzeri bir yapıya sahiptir;
Yonga levhalarını yerleştirmek ve ayırmak için birden fazla yuva;
Gaz akış dağılımını dikkate alarak, homojen ısıtma ve soğutmayı sağlamak üzere tasarlanmıştır;
Dikey ve yatay fırınlar için uygundur;
3 inç, 4 inç, 6 inç, 8 inç, 12 inç gibi farklı boyutlardaki gofretler için tasarlanmıştır.

VET Energy'nin silisyum karbür gofret taşıyıcıları, gelişmiş sinterleme teknolojisi kullanılarak üretilir ve özellikle gelişmiş yarı iletken üretiminin katı proses taşıyıcı gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Üstün teknik avantajları öncelikle aşağıdaki yönlerde kendini gösterir:

1. Üstün Saflık ve Ultra Düşük Kirlilik
Ultra yüksek saflıkta ham maddeler kullanarak, ürünün son derece düşük metal iyon içeriğine (Na, K, Fe ve Ca için 1 ppm'den az) sahip olmasını sağlıyoruz. Yüksek sıcaklıklarda minimum çökelme, yonga levhası kirlenmesini etkili bir şekilde önleyerek yüksek çip verimi ve güvenilirliği sağlar; bu da onları süreç mükemmelliğine ulaşmayı hedefleyenler için ideal bir seçim haline getirir.
2. Mükemmel Termal Performans ve Kararlılık
SiC gofret taşıyıcılarımız son derece yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel termal şok direncine sahiptir. Oda sıcaklığından 1600℃'ye kadar olan hızlı sıcaklık değişimlerine çatlama veya deformasyon olmadan dayanabilirler, bu da proses tekrarlanabilirliğini ve tutarlılığını sağlar ve taşıyıcı sorunlarından kaynaklanan plansız duruş sürelerini önemli ölçüde azaltır.
3. Olağanüstü Korozyon Direnci ve Mekanik Mukavemet
Yüksek sertliği ve güçlü aşınma direnci, asidik ve alkali ortamlara karşı olağanüstü direnciyle kuvars ve grafitten çok daha üstündür. Olağanüstü mekanik dayanımı, sık otomatik taşıma sırasında parçacık oluşumunu etkili bir şekilde önleyerek hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatır ve genel işletme maliyetlerini düşürür.
4. Hassas Tasarım ve Mükemmel Tutarlılık
Gelişmiş kalıplama ve işleme teknolojilerinden yararlanarak, her bir wafer teknesinin hassas geometrik boyutlara ve mükemmel yüzey doğruluğuna sahip olmasını, böylece düzgün wafer aralığı ve istikrarlı hava akışı sağlamasını garanti ediyoruz.

SiC wafer taşıma kabının temizliği ve bakımı:
Oluşabilecek tortuları gidermek için düzenli temizlik gerektirir;
Hasar oluşmasını önlemek için özel temizleme solüsyonları ve yöntemleri kullanır;