Barca de obleas de SiC de 4″ 6″ 8″ para forno horizontal

Barca de obleas de SiC de 4" 6" 8" para forno horizontal

Barca de obleas de SiC para forno horizontalDestínase principalmente a soportar e transportar as obleas en procesos térmicos de alta temperatura de obleas semicondutoras, como a difusión, a oxidación e o recocido. O seu rendemento afecta directamente á calidade do produto de oblea e á eficiencia da produción.

Os deseños estruturais das obleas de carburo de silicio:
Normalmente ten unha estrutura ranurada ou en forma de peite;
Múltiples ranuras para colocar e separar obleas;
Deseñado para ter en conta a distribución do fluxo de gas, garantindo un quecemento e refrixeración uniformes;
Apto para forno vertical e forno horizontal;
Deseñado para diferentes tamaños, como obleas de 3 polgadas, 4 polgadas, 6 polgadas, 8 polgadas e 12 polgadas.

As naves de obleas de carburo de silicio de VET Energy fabrícanse empregando tecnoloxía avanzada de sinterización e están deseñadas especificamente para cumprir cos estritos requisitos de soporte de proceso da fabricación avanzada de semicondutores. As súas vantaxes técnicas superiores reflíctense principalmente nos seguintes aspectos:

1. Pureza máxima e contaminación ultrabaixa
Usando materias primas de ultra alta pureza, garantimos que o produto teña un contido de ións metálicos extremadamente baixo (menos de 1 ppm para Na, K, Fe e Ca). A precipitación mínima a altas temperaturas impide eficazmente a contaminación das obleas, garantindo un alto rendemento e fiabilidade do chip, converténdoas nunha opción ideal para aqueles que buscan a perfección dos procesos.
2. Excelente rendemento térmico e estabilidade
A nosa nave de obleas de SiC posúe unha condutividade térmica extremadamente alta e unha excelente resistencia aos choques térmicos. Pode soportar flutuacións rápidas de temperatura desde a temperatura ambiente ata os 1600 ℃ sen rachar nin deformarse, o que garante a repetibilidade e a consistencia do proceso e reduce significativamente o tempo de inactividade non planificado debido a problemas co portador.
3. Resistencia á corrosión e resistencia mecánica extraordinarias
A alta dureza e a forte resistencia ao desgaste, xunto cunha excepcional resistencia a ambientes ácidos e alcalinos, superan con creces o cuarzo e o grafito. A súa excepcional resistencia mecánica impide eficazmente a xeración de partículas durante a manipulación automatizada frecuente, o que prolonga significativamente a súa vida útil e reduce os custos operativos xerais.
4. Deseño preciso e excelente consistencia
Aproveitando as tecnoloxías avanzadas de moldeo e procesamento, garantimos que cada caixa de obleas posúa dimensións xeométricas precisas e unha excelente precisión superficial, garantindo un espazado uniforme das obleas e un fluxo de aire estable.

Limpeza e mantemento da nave de obleas de SiC:
Require unha limpeza regular para eliminar posibles depósitos;
Emprega solucións e métodos de limpeza especializados para evitar danos;