4″ 6″ 8″ SiC Wafer қаиқ барои кӯраи уфуқӣ

Қаиқи вафлии SiC 4" 6" 8" барои кӯраи уфуқӣ

Қаиқи вафлии SiC барои кӯраи уфуқӣасосан барои дастгирӣ ва интиқоли пластинаҳо дар равандҳои гармии ҳарорати баланди пластинаҳои нимноқилӣ, ба монанди диффузия, оксидшавӣ ва гармкунӣ пешбинӣ шудааст. Фаъолияти он мустақиман ба сифати маҳсулоти пластина ва самаранокии истеҳсолот таъсир мерасонад.

Тарҳҳои сохтории қаиқи вафлии кремний карбидӣ:
Одатан сохтори сӯрохдор ё шонамонанд дорад;
Якчанд слотҳо барои ҷойгиркунӣ ва ҷудо кардани вафлиҳо;
Барои ба назар гирифтани тақсимоти ҷараёни газ тарҳрезӣ шудааст, ки гармидиҳӣ ва хунуккунии якхеларо таъмин мекунад;
Муносиб барои кӯраи амудӣ ва кӯраи уфуқӣ;
Барои андозаҳои гуногун ба монанди 3 дюйм, 4 дюйм, 6 дюйм, 8 дюйм, 12 дюйм тарҳрезӣ шудааст.

Қаиқҳои вафлии кремнийи карбидии VET Energy бо истифода аз технологияи пешрафтаи синтезкунӣ сохта шудаанд ва махсусан барои қонеъ кардани талаботи қатъии интиқолдиҳандаҳои равандҳои истеҳсоли пешрафтаи нимноқилҳо тарҳрезӣ шудаанд. Бартариҳои техникии барҷастаи онҳо асосан дар ҷанбаҳои зерин инъикос ёфтаанд:

1. Покии ниҳоӣ ва олудагии хеле паст
Бо истифода аз ашёи хоми ултра-баландсифат, мо кафолат медиҳем, ки маҳсулот дорои миқдори хеле ками ионҳои металлӣ (камтар аз 1 ppm барои Na, K, Fe ва Ca) мебошад. Боришоти ҳадди ақал дар ҳарорати баланд аз олудашавии вафл пешгирӣ мекунад ва ҳосилнокии баланди чипҳо ва эътимоднокии онҳоро таъмин мекунад ва онҳоро барои онҳое, ки барои такмили раванд талош мекунанд, интихоби беҳтарин мегардонад.
2. Иҷрои аълои гармӣ ва устуворӣ
Қаиқи вафлии SiC-и мо дорои гузариши хеле баланди гармӣ ва муқовимати аълои зарбаи гармӣ мебошад. Онҳо метавонанд ба тағйирёбии босуръати ҳарорат аз ҳарорати хона то 1600℃ бе кафидан ё деформатсия тоб оваранд, ки такроршавандагии раванд ва мувофиқати онро таъмин мекунад ва вақти бекористии ғайринақшавӣ аз сабаби мушкилоти интиқолдиҳандаро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
3. Муқовимати ғайриоддӣ ба зангзанӣ ва қувваи механикӣ
Сахтии баланд ва муқовимати қавии фарсудашавӣ, дар баробари муқовимати истисноӣ ба муҳитҳои туршӣ ва ишқорӣ, аз кварц ва графит хеле пеш мегузарад. Қувваи механикии истисноии он самаранок аз пайдоиши зарраҳо ҳангоми коркарди зуд-зуди автоматӣ пешгирӣ мекунад ва мӯҳлати хидмати онро ба таври назаррас дароз мекунад ва хароҷоти умумии амалиётиро коҳиш медиҳад.
4. Тарроҳии дақиқ ва мутобиқати аъло
Бо истифода аз технологияҳои пешрафтаи қолабсозӣ ва коркард, мо кафолат медиҳем, ки ҳар як қаиқи вафли андозаҳои дақиқи геометрӣ ва дақиқии сатҳи аъло дорад ва фосилаи якхелаи вафлиҳо ва ҷараёни устувори ҳаворо таъмин мекунад.

Тозакунӣ ва нигоҳдории қаиқи вафлии SiC:
Барои тоза кардани пасмондаҳои эҳтимолӣ тозакунии мунтазамро талаб мекунад;
Барои пешгирӣ аз зарар маҳлулҳо ва усулҳои махсуси тозакуниро истифода мебарад;