水平炉用 4インチ、6インチ、8インチ SiC ウェハボート

水平炉用 4インチ、6インチ、8インチ SiC ウェハボート

水平炉用SiCウェハボートこれは主に、半導体ウェーハの拡散、酸化、アニーリングなどの高温熱処理工程において、ウェーハを支持および搬送するために使用されます。その性能は、ウェーハ製品の品質と生産効率に直接影響します。

炭化ケイ素ウェハボートの構造設計：
一般的に、溝状または櫛状の構造を持つ。
ウェハを配置および分離するための複数のスロット。
ガス流量分布を考慮して設計されており、均一な暖房と冷房を実現します。
縦型炉および横型炉に適しています。
3インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチなど、さまざまなサイズのウェハーに対応するように設計されています。

VET Energy社の炭化ケイ素ウェハボートは、高度な焼結技術を用いて製造されており、高度な半導体製造における厳しいプロセスキャリア要件を満たすように特別に設計されています。その優れた技術的利点は、主に以下の点に表れています。

1. 究極の純度と超低汚染
超高純度原料を使用することで、製品の金属イオン含有量を極めて低く抑えています（Na、K、Fe、Caは1ppm未満）。高温での析出を最小限に抑えることで、ウェハーの汚染を効果的に防止し、高いチップ歩留まりと信頼性を確保します。そのため、プロセス精度の向上を目指すお客様にとって理想的な選択肢となります。
2. 優れた熱性能と安定性
当社のSiCウェハボートは、極めて高い熱伝導率と優れた耐熱衝撃性を備えています。室温から1600℃までの急激な温度変化にもひび割れや変形を起こすことなく耐えることができ、プロセスの再現性と一貫性を確保し、搬送機器の問題による予期せぬダウンタイムを大幅に削減します。
3. 優れた耐食性と機械的強度
高い硬度と優れた耐摩耗性に加え、酸性およびアルカリ性環境に対する卓越した耐性は、石英や黒鉛をはるかに凌駕します。その優れた機械的強度は、頻繁な自動搬送時に発生する粉塵の発生を効果的に抑制し、耐用年数を大幅に延長するとともに、運用コストの削減にも貢献します。
4. 精密な設計と優れた一貫性
高度な成形および加工技術を活用することで、各ウェーハボートが正確な幾何学的寸法と優れた表面精度を備え、均一なウェーハ間隔と安定した気流を確保します。

SiCウェハーボートの洗浄とメンテナンス：
付着物を除去するために定期的な清掃が必要です。
損傷を防ぐために、特殊な洗浄液と洗浄方法を使用する。