Ụgbọ Mmiri Wafer SiC 4″ 6″ 8″ Maka Ọkụ Kwụ ọtọ

Ụgbọ Mmiri Wafer SiC 4" 6" 8" Maka Ọkụ Kwụ ọtọ

Ụgbọ mmiri wafer SiC maka ọkụ kwụ ọtọbụ isi ihe maka ịkwado na ibuga wafers ndị a n'ime usoro okpomọkụ dị elu nke wafers semiconductor dị ka mgbasa, oxidation, na annealing. Arụmọrụ ya na-emetụta kpọmkwem ịdị mma nke ngwaahịa wafer na arụmọrụ mmepụta.

Nhazi nke ụgbọ mmiri wafer silicon carbide:
Ọ na-enwekarị oghere ma ọ bụ nhazi dị ka mbo;
Ọtụtụ oghere maka itinye na ikewapụ wafers;
E mere ya iji tụlee nkesa gas, hụ na e nwere otu ụdị ikpo ọkụ na oyi;
Ọ dị mma maka ọkụ kwụ ọtọ na ọkụ kwụ ọtọ;
E mere ya maka nha dị iche iche dịka wafers nke 3inch, 4inch, 6inch, 8inch, na 12inch.

E ji teknụzụ sintering dị elu rụọ ụgbọ mmiri wafer silicon carbide nke VET Energy, e mekwara ha kpọmkwem iji mezuo ihe achọrọ maka ibu ọrụ siri ike nke mmepụta semiconductor dị elu. Uru teknụzụ ha dị elu na-egosipụtakarị n'akụkụ ndị a:

1. Ịdị ọcha kachasị elu na mmetọ dị oke ala
Site na iji ihe ndị dị ọcha nke ukwuu, anyị na-ahụ na ngwaahịa a nwere obere ion ígwè (erughị 1 ppm maka Na, K, Fe, na Ca). Mmiri ozuzo pere mpe na okpomọkụ dị elu na-egbochi mmetọ wafer nke ọma, na-eme ka mmepụta chip dị elu na ntụkwasị obi, na-eme ka ha bụrụ nhọrọ kacha mma maka ndị na-agbalịsi ike imezu usoro ahụ.
2. Ezigbo arụmọrụ na nkwụsi ike nke okpomọkụ
Ụgbọ mmiri anyị nke a na-akpọ SiC wafer nwere oke ike okpomọkụ na ezigbo ike iguzogide oke okpomọkụ. Ha nwere ike iguzogide mgbanwe okpomọkụ ngwa ngwa site na okpomọkụ ụlọ ruo 1600℃ na-enweghị mgbawa ma ọ bụ mgbanwe, na-eme ka usoro ahụ nwee ike imegharị ma na-adịgide, na-ebelata oge ezumike a na-atụghị anya ya n'ihi nsogbu ndị na-ebu ya.
3. Nguzogide Nrụgide Pụrụ Iche na Ike Mechanical
Ike siri ike na ike iyi siri ike, yana oke iguzogide gburugburu acidic na alkaline, karịrị quartz na graphite. Ike igwe ya pụrụ iche na-egbochi mmepụta ihe dị iche iche nke ọma n'oge njikwa akpaghị aka ugboro ugboro, na-agbatịkwu ndụ ọrụ ya nke ukwuu ma na-ebelata ọnụ ahịa ọrụ niile.
4. Nhazi ziri ezi na Nkwekọ Dị Mma
Site na iji teknụzụ nhazi na nhazi dị elu, anyị na-ahụ na ụgbọ mmiri wafer ọ bụla nwere akụkụ geometric ziri ezi na izi ezi elu dị mma, na-ahụ na oghere wafer dị n'otu na ikuku ikuku kwụsiri ike.

Nhicha na mmezi nke ụgbọ mmiri wafer SiC:
Ọ chọrọ nhicha mgbe niile iji wepụ ihe ndị nwere ike itinye n'ime ya;
Na-eji ngwọta nhicha pụrụ iche na ụzọ iji zere mmebi;