수평로용 4인치, 6인치, 8인치 SiC 웨이퍼 보트

수평로용 4" 6" 8" SiC 웨이퍼 보트

수평로용 SiC 웨이퍼 보트이 장비는 주로 반도체 웨이퍼의 확산, 산화, 어닐링과 같은 고온 열처리 공정에서 웨이퍼를 지지하고 운반하는 데 사용됩니다. 이 장비의 성능은 웨이퍼 제품 품질과 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다.

탄화규소 웨이퍼 보트의 구조 설계:
일반적으로 홈이 있거나 빗살 모양의 구조를 가지고 있습니다.
웨이퍼를 배치하고 분리하기 위한 여러 개의 슬롯;
가스 흐름 분포를 고려하여 설계되어 균일한 난방 및 냉방을 보장합니다.
수직로 및 수평로에 적합합니다.
3인치, 4인치, 6인치, 8인치, 12인치 등 다양한 크기의 웨이퍼에 맞게 설계되었습니다.

VET Energy의 탄화규소 웨이퍼 보트는 첨단 소결 기술을 사용하여 제작되었으며, 첨단 반도체 제조의 엄격한 공정 캐리어 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이러한 우수한 기술적 장점은 주로 다음과 같은 측면에서 나타납니다.

1. 최고의 순도 및 극히 낮은 오염도
초고순도 원료를 사용하여 제품의 금속 이온 함량을 극히 낮게(Na, K, Fe, Ca 모두 1ppm 미만) 유지합니다. 고온에서의 최소한의 침전으로 웨이퍼 오염을 효과적으로 방지하여 높은 칩 수율과 신뢰성을 보장하므로 공정의 완벽함을 추구하는 고객에게 이상적인 선택입니다.
2. 탁월한 열 성능 및 안정성
당사의 SiC 웨이퍼 보트는 매우 높은 열전도율과 탁월한 열충격 저항성을 자랑합니다. 상온에서 1600℃까지 급격한 온도 변화에도 균열이나 변형 없이 견딜 수 있어 공정의 반복성과 일관성을 보장하고, 캐리어 문제로 인한 계획되지 않은 가동 중단 시간을 크게 줄여줍니다.
3. 탁월한 내식성 및 기계적 강도
높은 경도와 뛰어난 내마모성, 그리고 산성 및 알칼리성 환경에 대한 탁월한 저항성은 석영과 흑연을 훨씬 능가합니다. 탁월한 기계적 강도로 인해 잦은 자동 처리 과정에서 입자 발생을 효과적으로 방지하여 수명을 크게 연장하고 전반적인 운영 비용을 절감합니다.
4. 정밀한 설계와 뛰어난 일관성
첨단 성형 및 가공 기술을 활용하여 각 웨이퍼 보트가 정확한 기하학적 치수와 뛰어난 표면 정밀도를 갖도록 보장함으로써 균일한 웨이퍼 간격과 안정적인 공기 흐름을 확보합니다.

SiC 웨이퍼 보트의 세척 및 유지 관리:
침전물 제거를 위해 정기적인 청소가 필요합니다.
손상을 방지하기 위해 특수 세척액과 방법을 사용합니다.