Dgħajsa tal-Wafer SiC ta' 4″ 6″ 8″ Għal Forn Orizzontali

Dgħajsa tal-Wafer SiC ta' 4" 6" 8" Għal Forn Orizzontali

Dgħajsa tal-wejfer tas-SiC għal forn orizzontaliHuwa primarjament għall-appoġġ u t-trasport tal-wejfers fi proċessi termali ta' temperatura għolja ta' wejfers semikondutturi bħad-diffużjoni, l-ossidazzjoni, u t-temprar. Il-prestazzjoni tiegħu taffettwa direttament il-kwalità tal-prodott tal-wejfer u l-effiċjenza tal-produzzjoni.

Id-disinji strutturali tad-dgħajsa tal-wejfer tal-karbur tas-silikon:
Tipikament għandu struttura b'slott jew bħal moxt;
Slots multipli għat-tqegħid u s-separazzjoni tal-wejfers;
Iddisinjat biex jikkunsidra d-distribuzzjoni tal-fluss tal-gass, u jiżgura tisħin u tkessiħ uniformi;
Adattat għal forn vertikali u forn orizzontali;
Iddisinjati għal daqsijiet differenti bħal wejfers ta' 3 pulzieri, 4 pulzieri, 6 pulzieri, 8 pulzieri, 12 pulzieri.

Il-wejfers tal-karbur tas-silikon ta' VET Energy huma maħduma bl-użu ta' teknoloġija avvanzata ta' sinterizzazzjoni u huma ddisinjati speċifikament biex jissodisfaw ir-rekwiżiti stretti tat-trasportatur tal-proċess tal-manifattura avvanzata tas-semikondutturi. Il-vantaġġi tekniċi superjuri tagħhom huma primarjament riflessi fl-aspetti li ġejjin:

1. Purità Massima u Kontaminazzjoni Ultra-Baxxa
Bl-użu ta' materja prima ta' purità ultra-għolja, niżguraw li l-prodott ikollu kontenut estremament baxx ta' joni tal-metall (inqas minn 1 ppm għal Na, K, Fe, u Ca). Preċipitazzjoni minima f'temperaturi għoljin tipprevjeni b'mod effettiv il-kontaminazzjoni tal-wejfer, u b'hekk tiżgura rendiment u affidabbiltà għolja taċ-ċippa, u b'hekk tagħmilhom għażla ideali għal dawk li qed ifittxu l-perfezzjoni tal-proċess.
2. Prestazzjoni u Stabbiltà Termali Eċċellenti
Id-dgħajsa tal-wejfer SiC tagħna għandha konduttività termali għolja ħafna u reżistenza eċċellenti għal xokk termali. Jistgħu jifilħu varjazzjonijiet rapidi fit-temperatura mit-temperatura tal-kamra sa 1600℃ mingħajr ma jixxaqqu jew jiddeformaw, u b'hekk jiżguraw ripetibbiltà u konsistenza tal-proċess, u jnaqqsu b'mod sinifikanti l-ħin ta' waqfien mhux ippjanat minħabba problemi tat-trasportatur.
3. Reżistenza għall-korrużjoni straordinarja u saħħa mekkanika
L-ebusija għolja u r-reżistenza qawwija għall-użu, flimkien ma' reżistenza eċċezzjonali għal ambjenti aċidużi u alkalini, jegħlbu bil-bosta l-kwarz u l-grafita. Is-saħħa mekkanika eċċezzjonali tagħha tipprevjeni b'mod effettiv il-ġenerazzjoni ta' partiċelli waqt immaniġġjar awtomatizzat frekwenti, u b'hekk testendi b'mod sinifikanti l-ħajja tas-servizz tagħha u tnaqqas l-ispejjeż operattivi ġenerali.
4. Disinn ta' Preċiżjoni u Konsistenza Eċċellenti
Bl-użu ta' teknoloġiji avvanzati tal-iffurmar u l-ipproċessar, aħna niżguraw li kull dgħajsa tal-wejfer tippossjedi dimensjonijiet ġeometriċi preċiżi u preċiżjoni eċċellenti tal-wiċċ, u b'hekk niżguraw spazjar uniformi tal-wejfers u fluss tal-arja stabbli.

It-Tindif u l-Manutenzjoni tad-dgħajsa tal-wejfer tas-SiC:
Jeħtieġ tindif regolari biex jitneħħew id-depożiti potenzjali;
Juża soluzzjonijiet u metodi ta' tindif speċjalizzati biex jevita l-ħsara;