Navă cu napolitane SiC de 4″ 6″ 8″ pentru cuptor orizontal

Barcă cu napolitane SiC de 4" 6" 8" pentru cuptor orizontal

Navă cu napolitane SiC pentru cuptor orizontaleste destinat în principal susținerii și transportului napolitanelor în procesele termice la temperatură înaltă ale napolitanelor semiconductoare, cum ar fi difuzia, oxidarea și recoacerea. Performanța sa afectează direct calitatea produsului napolitan și eficiența producției.

Proiectele structurale ale navei cu plachete din carbură de siliciu:
De obicei, are o structură cu fante sau asemănătoare unui pieptene;
Mai multe sloturi pentru plasarea și separarea napolitanelor;
Conceput pentru a lua în considerare distribuția fluxului de gaz, asigurând încălzirea și răcirea uniformă;
Potrivit pentru cuptor vertical și cuptor orizontal;
Conceput pentru diferite dimensiuni, cum ar fi napolitane de 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch, 12 inch.

Nacelele din carbură de siliciu de la VET Energy sunt fabricate folosind tehnologie avansată de sinterizare și sunt special concepute pentru a îndeplini cerințele stricte privind purtătorii de proces din fabricația de semiconductori avansați. Avantajele lor tehnice superioare se reflectă în principal în următoarele aspecte:

1. Puritate maximă și contaminare ultra-scăzută
Folosind materii prime de puritate ultra-înaltă, asigurăm că produsul are un conținut extrem de scăzut de ioni metalici (mai puțin de 1 ppm pentru Na, K, Fe și Ca). Precipitațiile minime la temperaturi ridicate previn eficient contaminarea napolitanelor, asigurând un randament ridicat al cipului și fiabilitate, ceea ce le face o alegere ideală pentru cei care aspiră la perfecțiunea proceselor.
2. Performanță termică și stabilitate excelente
Navele noastre SiC posedă o conductivitate termică extrem de ridicată și o rezistență excelentă la șocuri termice. Acestea pot rezista la fluctuații rapide de temperatură de la temperatura camerei la 1600 ℃ fără fisuri sau deformări, asigurând repetabilitatea și consecvența procesului, reducând semnificativ timpii de nefuncționare neplanificați din cauza problemelor legate de purtători.
3. Rezistență extraordinară la coroziune și rezistență mecanică
Duritatea ridicată și rezistența puternică la uzură, împreună cu rezistența excepțională la medii acide și alcaline, depășesc cu mult cuarțul și grafitul. Rezistența sa mecanică excepțională previne eficient generarea de particule în timpul manipulării automate frecvente, prelungind semnificativ durata de viață și reducând costurile generale de operare.
4. Design precis și consecvență excelentă
Utilizând tehnologii avansate de turnare și procesare, ne asigurăm că fiecare nacelă de napolitane posedă dimensiuni geometrice precise și o precizie excelentă a suprafeței, asigurând o distanțare uniformă a napolitanelor și un flux de aer stabil.

Curățarea și întreținerea navei cu napolitane SiC:
Necesită curățare regulată pentru a îndepărta potențialele depuneri;
Folosește soluții și metode de curățare specializate pentru a evita deteriorarea;