በሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ግማሽ ጨረቃ ክፍል እና ስብሰባ ለሲሲ ኤፒታክሲ

አጭር መግለጫ፡-

VET ኢነርጂ የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ምድጃዎች ዋና ዋና ክፍሎች ፕሮፌሽናል አምራች እና አቅራቢ ነው። የእኛ የግማሽ ጨረቃ ስብሰባ ከፍተኛ ጥራት ያለው ግራፋይት ከላቁ የሲቪዲ ሽፋን ቴክኖሎጂ ጋር ተጣምሮ ይጠቀማል። ከፍተኛ ሙቀት ላለው እና በጣም ለበሰበሰ ኤፒታክሲያል አካባቢዎች የተነደፈ ነው። ከፍተኛ-ንፅህና ያለው ግራፋይት ክፍሉን እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም (> 1600 ℃) እና የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል ፣ ይህም የሙቀት መስክን ተመሳሳይነት ያረጋግጣል ። የሲቪዲ ሽፋኑ በሲቪዲ ቴክኖሎጂ በኩል ጥቅጥቅ ያለ የመከላከያ ሽፋን ይፈጥራል ፣ ፀረ-ኦክሳይድ እና ፀረ-etching ባህሪዎችን በእጅጉ ያሻሽላል እና የአገልግሎት ህይወቱን ከ 3 ጊዜ በላይ ያራዝመዋል።

ቁሳቁስ፡ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት

ሕክምና፡-CVD-SiC ወይም CVD-TaC ሽፋን

ማበጀት፡ይገኛል።

ኢሜይል ይላኩልን። እንደ PDF አውርድ

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

SiC የተሸፈነ ግራፋይት Halfmoon ክፍልበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ በተለይም ለሲሲ ኤፒታክሲያል መሳሪያዎች የሚያገለግል ቁልፍ አካል ነው። መዋቅራዊ ንድፉ እና የቁሳቁስ ባህሪያቱ የኤፒታክሲያል ቫፈርን ጥራት እና የምርት ቅልጥፍናን በቀጥታ ይወስናሉ።

ምላሽ ክፍል ግንባታ;
የግማሽ ጨረቃ ክፍል ሁለት ክፍሎች ያሉት የላይኛው እና የታችኛው ክፍል ሲሆን ይህም የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (አብዛኛውን ጊዜ 4H-SiC ወይም 6H-SiC) የሚያስተናግድ እና የጋዝ ፍሰት መስክን በትክክል በመቆጣጠር (እንደ ሲኤች₄₄, ሲ, ሲ, ሲ ኤች ₄, C) ድብልቅን በመቆጣጠር ኤፒታክሲያል ንብርብር እድገትን የሚያገኝ, የተዘጋ የእድገት ክፍልን ለመመስረት የተጣበቁ ናቸው.
የሙቀት መስክ ደንብ;
ከፍተኛ ንፅህና ያለው ግራፋይት መሰረት ከኢንደክሽን ማሞቂያ ገንዳ ጋር ተጣምሮ የክፍሉን የሙቀት መጠን ተመሳሳይነት (በ ± 5 ° ሴ) በ 1500-1700 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የኤፒታክሲያል ንብርብር ውፍረትን ማረጋገጥ ይችላል.
የአየር ፍሰት መመሪያ;
የአየር ማስገቢያውን እና መውጫውን አቀማመጥ በመንደፍ (እንደ የጎን አየር ማስገቢያ እና የአግድም እቶን አካል የላይኛው አየር መውጫ) ፣ የግብረ-መልስ ጋዝ ላሚናር ፍሰት በተዘበራረቀ ሁኔታ የሚፈጠሩትን የእድገት ጉድለቶችን ለመቀነስ በ substrate ወለል በኩል ይመራል።

የመሠረት ቁሳቁስ: ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት
የንጽህና መስፈርቶችየካርቦን ይዘት ≥99.99% ፣ አመድ ይዘት ≤5 ፒፒኤም ፣ ከፍተኛ ሙቀት ባለው የኤፒታክሲያል ንብርብሩን ለመበከል ምንም አይነት ቆሻሻ አለመኖሩን ለማረጋገጥ።
የአፈጻጸም ጥቅሞች፡-
ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ;በክፍል ሙቀት ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን 150W / (m・K) ይደርሳል, ይህም ወደ መዳብ ደረጃ ቅርብ እና በፍጥነት ሙቀትን ማስተላለፍ ይችላል.
ዝቅተኛ የማስፋፊያ ቅንጅት;5×10^-6/ ℃ (25-1000 ℃)፣ ከሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (4.2×10) ጋር የሚዛመድ^-6/ ℃), በሙቀት ጭንቀት ምክንያት የሚፈጠረውን ሽፋን መቀነስ ይቀንሳል.
የማስኬጃ ትክክለኛነት፡የክፍሉን መታተም ለማረጋገጥ የ ± 0.05mm ልኬት መቻቻል በ CNC ማሽነሪ በኩል ይገኛል.

የተለያዩ የሲቪዲ ሲሲ እና ሲቪዲ ታሲ አፕሊኬሽኖች

ሽፋን	ሂደት	ንጽጽር	የተለመደ መተግበሪያ
ሲቪዲ-ሲሲ	የሙቀት መጠን፡ 1000-1200℃ ጫና፡ 10-100 ቶር	ጠንካራነት HV2500 ፣ ውፍረት 50-100um ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የኦክሳይድ መቋቋም (ከ 1600 ℃ በታች የተረጋጋ)	እንደ ሃይድሮጂን እና ሳይላን ላሉ የተለመዱ ከባቢ አየር ተስማሚ የሆኑ ሁለንተናዊ ኤፒታክሲያል ምድጃዎች
ሲቪዲ-ታሲ	የሙቀት መጠን፡ 1600-1800℃ ጫና፡ 1-10 ቶር	ጠንካራነት HV3000፣ ውፍረት 20-50um፣ እጅግ በጣም ዝገትን የሚቋቋም (እንደ HCl፣ NH₃፣ ወዘተ ያሉ ጎጂ ጋዞችን መቋቋም ይችላል።)	በጣም የሚበላሹ አካባቢዎች (እንደ ጋኤን ኤፒታክሲ እና ኤክሪንግ መሣሪያዎች ያሉ)፣ ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት መጠን 2600°C የሚያስፈልጋቸው ልዩ ሂደቶች።

VET ኢነርጂ በ R&D ላይ ያተኮረ ፕሮፌሽናል አምራች ሲሆን እንደ ግራፋይት፣ ሲሊከን ካርቦይድ፣ ኳርትዝ ያሉ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የላቁ ቁሶችን በማምረት እንዲሁም እንደ ሲሲ ሽፋን፣ ታሲ ሽፋን፣ ብርጭቆ የካርቦን ሽፋን፣ ፓይሮሊቲክ የካርቦን ሽፋን፣ ወዘተ.

የእኛ የቴክኒክ ቡድን ከከፍተኛ የሀገር ውስጥ የምርምር ተቋማት የመጣ ነው, ለእርስዎ የበለጠ ሙያዊ የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ሊያቀርብልዎ ይችላል.

የ VET ኢነርጂ ጥቅሞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
• የራሱ ፋብሪካ እና ሙያዊ ላብራቶሪ;
• ኢንዱስትሪ-መሪ የንጽህና ደረጃዎች እና ጥራት;
• ተወዳዳሪ ዋጋ እና ፈጣን መላኪያ ጊዜ;
• በዓለም ዙሪያ በርካታ የኢንዱስትሪ ሽርክናዎች;

ፋብሪካችንን እና ቤተ ሙከራችንን በማንኛውም ጊዜ እንድትጎበኙ እንመኛለን!