የሲሲ ሽፋን ያለው ግራፋይት የግማሽ ጨረቃ ክፍልበተለይም ለሲሲ ኤፒታክሲያል መሳሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ቁልፍ አካል ነው። መዋቅራዊ ዲዛይኑ እና የቁሳቁስ ባህሪያቱ የኤፒታክሲያል ዋፈርዎችን ጥራት እና የምርት ውጤታማነት በቀጥታ ይወስናሉ።
የምላሽ ክፍል ግንባታ፡
የግማሽ ጨረቃ ክፍል ሁለት ክፍሎችን ያቀፈ ሲሆን የላይኛው እና የታችኛው ክፍሎች ሲሆኑ፣ እነዚህም አንድ ላይ ተጣብቀው የተዘጋ የእድገት ክፍል ይፈጥራሉ፣ ይህም የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (ብዙውን ጊዜ 4H-SiC ወይም 6H-SiC) የሚያስተናግድ ሲሆን የጋዝ ፍሰት መስክን (እንደ SiH₄፣ C₃H₈ እና H₂ ድብልቅ) በትክክል በመቆጣጠር የኤፒታክሲያል ንብርብር እድገትን ያገኛል።
የሙቀት መስክ ቁጥጥር፡
ከፍተኛ ንፁህ የሆነው የግራፋይት መሰረት ከኢንዱክሽን ማሞቂያ ኮይል ጋር ተዳምሮ የክፍሉን የሙቀት መጠን ወጥነት (በ ±5°ሴ ውስጥ) በ1500-1700°ሴ ከፍተኛ ሙቀት ውስጥ እንዲቆይ በማድረግ የኤፒታክሲያል ንብርብር ውፍረት ወጥነት እንዲኖረው ማድረግ ይችላል።
የአየር ፍሰት መመሪያ;
የአየር ማስገቢያ እና መውጫ ቦታ (እንደ አግድም ምድጃ አካል የጎን አየር መግቢያ እና የላይኛው የአየር መውጫ) በመንደፍ፣ የምላሽ ጋዝ ላሚናር ፍሰት በንጥረ ነገር ወለል በኩል ይመራል፣ ይህም በሁከት ምክንያት የሚከሰቱ የእድገት ጉድለቶችን ይቀንሳል።
የመሠረት ቁሳቁስ፡ ከፍተኛ ንጽህና ያለው ግራፋይት
የንጽህና መስፈርቶች፡የካርቦን ይዘት ≥99.99%፣ የአመድ ይዘት ≤5ppm፣ ይህም በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የኤፒታክሲያል ንብርብርን ለመበከል ምንም አይነት ቆሻሻ እንዳይፈጠር ለማረጋገጥ ነው።
የአፈጻጸም ጥቅሞች፡
ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ;በክፍል ሙቀት ውስጥ ያለው የሙቀት አማቂ ኃይል 150W/(m・K) ይደርሳል፣ ይህም ከመዳብ ደረጃ ጋር ቅርብ የሆነ እና ሙቀትን በፍጥነት ማስተላለፍ የሚችል ነው።
ዝቅተኛ የማስፋፊያ ኮፊሸንት፦5×10-6/℃ (25-1000℃)፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (4.2×10) ጋር የሚዛመድ-6/℃)፣ በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚፈጠረውን የሽፋኑን ስንጥቅ ይቀንሳል።
የሂደት ትክክለኛነት፡የክፍሉን መታተም ለማረጋገጥ በሲኤንሲ ማሽነሪ አማካኝነት ±0.05ሚሜ የሆነ ልኬት ያለው መቻቻል ተገኝቷል።
የተለያዩ የCVD SiC እና CVD TaC አፕሊኬሽኖች
| ሽፋን | ሂደት | ንጽጽር | መደበኛ መተግበሪያ |
| ሲቪዲ-ሲሲ | የሙቀት መጠን፡ 1000-1200℃ ግፊት፡ 10-100 ቶር | ጠንካራነት HV2500፣ ውፍረት 50-100um፣ እጅግ በጣም ጥሩ የኦክሳይድ መቋቋም (ከ1600℃ በታች የተረጋጋ) | እንደ ሃይድሮጂን እና ሲላን ላሉ ባህላዊ ከባቢ አየር ተስማሚ የሆኑ ሁለንተናዊ ኤፒታክሲያል ምድጃዎች |
| ሲቪዲ-ታሲ | የሙቀት መጠን፡ 1600-1800℃ ግፊት፡ 1-10 ቶር | ጠንካራነት HV3000፣ ውፍረት 20-50um፣ እጅግ በጣም ዝገት የሚቋቋም (እንደ HCl፣ NH₃፣ ወዘተ ያሉ ዝገት ጋዞችን መቋቋም የሚችል) | ከፍተኛ ዝገት የሚፈጥሩ አካባቢዎች (እንደ GaN epitaxy እና etching equipment ያሉ) ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት መጠን 2600°ሴ የሚጠይቁ ልዩ ሂደቶች |
ቪኢቲ ኢነርጂ እንደ ግራፋይት፣ ሲሊኮን ካርቦይድ፣ ኳርትዝ ያሉ ከፍተኛ ደረጃ ያላቸውን የላቁ ቁሳቁሶችን በምርምር እና ልማት እና በማምረት ላይ እንዲሁም እንደ ሲሲ ሽፋን፣ ታሲ ሽፋን፣ የመስታወት ካርቦን ሽፋን፣ ፒሮሊቲክ የካርቦን ሽፋን፣ ወዘተ ባሉ የቁሳቁስ ህክምናዎች ላይ ያተኮረ ባለሙያ አምራች ነው። ምርቶቹ በፎቶቮልታይክ፣ ሴሚኮንዳክተር፣ አዲስ ኢነርጂ፣ ሜታለርጂ ወዘተ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።
የቴክኒክ ቡድናችን ከከፍተኛ የሀገር ውስጥ የምርምር ተቋማት የመጣ ሲሆን ለእርስዎ የበለጠ ሙያዊ የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ሊያቀርብልዎ ይችላል።
የ VET ኢነርጂ ጥቅሞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
• የራሱ ፋብሪካ እና ሙያዊ ላብራቶሪ፤
• በኢንዱስትሪው ውስጥ ግንባር ቀደም የሆኑ የንፅህና ደረጃዎች እና ጥራት፤
• ተወዳዳሪ ዋጋ እና ፈጣን የማድረስ ጊዜ፤
• በዓለም ዙሪያ በርካታ የኢንዱስትሪ ሽርክናዎች፤
ፋብሪካችንን እና ላቦራቶሪዎቻችንን በማንኛውም ጊዜ እንዲጎበኙ እንጋብዝዎታለን!
