የሲሲ ሽፋን ያለው ግራፋይት የግማሽ ጨረቃ ክፍልበተለይም ለሲሲ ኤፒታክሲያል መሳሪያዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ቁልፍ አካል ነው። የሃፍሙን ክፍል እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና፣ ጥሩ የሽፋን ወጥነት እና እጅግ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ዘመን እንዲሁም ከፍተኛ የኬሚካል መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት ባህሪያት ያለው ለማድረግ የፈጠራ ባለቤትነት ቴክኖሎጂያችንን እንጠቀማለን።
የመሠረት ቁሳቁስ፡ ከፍተኛ ንጽህና ያለው ግራፋይት
የንጽህና መስፈርቶች፡የካርቦን ይዘት ≥99.99%፣ የአመድ ይዘት ≤5ppm፣ ይህም በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የኤፒታክሲያል ንብርብርን ለመበከል ምንም አይነት ቆሻሻ እንዳይፈጠር ለማረጋገጥ ነው።
የአፈጻጸም ጥቅሞች፡
ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ;በክፍል ሙቀት ውስጥ ያለው የሙቀት አማቂ ኃይል 150W/(m・K) ይደርሳል፣ ይህም ከመዳብ ደረጃ ጋር ቅርብ የሆነ እና ሙቀትን በፍጥነት ማስተላለፍ የሚችል ነው።
ዝቅተኛ የማስፋፊያ ኮፊሸንት፦5×10-6/℃ (25-1000℃)፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (4.2×10) ጋር የሚዛመድ-6/℃)፣ በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚፈጠረውን የሽፋኑን ስንጥቅ ይቀንሳል።
የሂደት ትክክለኛነት፡የክፍሉን መታተም ለማረጋገጥ በሲኤንሲ ማሽነሪ አማካኝነት ±0.05ሚሜ የሆነ ልኬት ያለው መቻቻል ተገኝቷል።
የተለያዩ የCVD SiC እና CVD TaC አፕሊኬሽኖች
| ሽፋን | ሂደት | ንጽጽር | መደበኛ መተግበሪያ |
| ሲቪዲ-ሲሲ | የሙቀት መጠን፡ 1000-1200℃ ግፊት፡ 10-100 ቶር | ጠንካራነት HV2500፣ ውፍረት 50-100um፣ እጅግ በጣም ጥሩ የኦክሳይድ መቋቋም (ከ1600℃ በታች የተረጋጋ) | እንደ ሃይድሮጂን እና ሲላን ላሉ ባህላዊ ከባቢ አየር ተስማሚ የሆኑ ሁለንተናዊ ኤፒታክሲያል ምድጃዎች |
| ሲቪዲ-ታሲ | የሙቀት መጠን፡ 1600-1800℃ ግፊት፡ 1-10 ቶር | ጠንካራነት HV3000፣ ውፍረት 20-50um፣ እጅግ በጣም ዝገት የሚቋቋም (እንደ HCl፣ NH₃፣ ወዘተ ያሉ ዝገት ጋዞችን መቋቋም የሚችል) | ከፍተኛ ዝገት የሚፈጥሩ አካባቢዎች (እንደ GaN epitaxy እና etching equipment ያሉ) ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት መጠን 2600°ሴ የሚጠይቁ ልዩ ሂደቶች |
የጥራት ምርመራ
የሽፋን ውፍረት፡ የሌዘር ውፍረት መለኪያ (ትክክለኛነት ± 1um) ወይም የSEM መስቀለኛ ክፍል ትንተና።
የማሰሪያ ጥንካሬ፡ የጭረት ሙከራ (ወሳኝ ጭነት > 50N) ወይም የአልትራሳውንድ ሙከራ (የድምፅ ፍጥነት > 5000ሜ/ሰ)።
የዝገት መቋቋም፡ የጅምላ ኪሳራ መጠን (<0.1 mg/cm²・h) በHCl ከባቢ አየር (5 vol%፣ 1600℃) ተፈትኗል።
ቪኢቲ ኢነርጂ እንደ ግራፋይት፣ ሲሊኮን ካርቦይድ፣ ኳርትዝ ያሉ ከፍተኛ ደረጃ ያላቸውን የላቁ ቁሳቁሶችን በምርምር እና ልማት እና በማምረት ላይ እንዲሁም እንደ ሲሲ ሽፋን፣ ታሲ ሽፋን፣ የመስታወት ካርቦን ሽፋን፣ ፒሮሊቲክ የካርቦን ሽፋን፣ ወዘተ ባሉ የቁሳቁስ ህክምናዎች ላይ ያተኮረ ባለሙያ አምራች ነው። ምርቶቹ በፎቶቮልታይክ፣ ሴሚኮንዳክተር፣ አዲስ ኢነርጂ፣ ሜታለርጂ ወዘተ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።
የቴክኒክ ቡድናችን ከከፍተኛ የሀገር ውስጥ የምርምር ተቋማት የመጣ ሲሆን ለእርስዎ የበለጠ ሙያዊ የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ሊያቀርብልዎ ይችላል።
የ VET ኢነርጂ ጥቅሞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
• የራሱ ፋብሪካ እና ሙያዊ ላብራቶሪ፤
• በኢንዱስትሪው ውስጥ ግንባር ቀደም የሆኑ የንፅህና ደረጃዎች እና ጥራት፤
• ተወዳዳሪ ዋጋ እና ፈጣን የማድረስ ጊዜ፤
• በዓለም ዙሪያ በርካታ የኢንዱስትሪ ሽርክናዎች፤
ፋብሪካችንን እና ላቦራቶሪዎቻችንን በማንኛውም ጊዜ እንዲጎበኙ እንጋብዝዎታለን!
