SiC የተሸፈነ ግራፋይት Halfmoon ክፍልበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ በተለይም ለሲሲ ኤፒታክሲያል መሳሪያዎች የሚያገለግል ቁልፍ አካል ነው። የግማሽ ሙን ክፍል እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና፣ ጥሩ ሽፋን ያለው ወጥነት ያለው እና እጅግ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ህይወት፣ እንዲሁም ከፍተኛ ኬሚካላዊ የመቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት ባህሪያትን ለማድረግ የባለቤትነት መብት ያለው ቴክኖሎጂያችንን እንጠቀማለን።
የመሠረት ቁሳቁስ: ከፍተኛ-ንፅህና ግራፋይት
የንጽህና መስፈርቶችየካርቦን ይዘት ≥99.99% ፣ አመድ ይዘት ≤5 ፒፒኤም ፣ ከፍተኛ ሙቀት ባለው የኤፒታክሲያል ንብርብሩን ለመበከል ምንም አይነት ቆሻሻ አለመኖሩን ለማረጋገጥ።
የአፈጻጸም ጥቅሞች፡-
ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ;በክፍል ሙቀት ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን 150W / (m・K) ይደርሳል, ይህም ወደ መዳብ ደረጃ ቅርብ እና በፍጥነት ሙቀትን ማስተላለፍ ይችላል.
ዝቅተኛ የማስፋፊያ ቅንጅት;5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃)፣ ከሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ (4.2×10) ጋር የሚዛመድ-6/ ℃), በሙቀት ጭንቀት ምክንያት የሚፈጠረውን ሽፋን መቀነስ ይቀንሳል.
የማስኬጃ ትክክለኛነት፡የክፍሉን መታተም ለማረጋገጥ የ ± 0.05mm ልኬት መቻቻል በ CNC ማሽነሪ በኩል ይገኛል.
የተለያዩ የሲቪዲ ሲሲ እና ሲቪዲ ታሲ አፕሊኬሽኖች
| ሽፋን | ሂደት | ንጽጽር | የተለመደ መተግበሪያ |
| ሲቪዲ-ሲሲ | የሙቀት መጠን፡ 1000-1200℃ ጫና፡ 10-100 ቶር | ጠንካራነት HV2500 ፣ ውፍረት 50-100um ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የኦክሳይድ መቋቋም (ከ 1600 ℃ በታች የተረጋጋ) | እንደ ሃይድሮጂን እና ሳይላን ላሉ የተለመዱ ከባቢ አየር ተስማሚ የሆኑ ሁለንተናዊ ኤፒታክሲያል ምድጃዎች |
| ሲቪዲ-ታሲ | የሙቀት መጠን፡ 1600-1800℃ ጫና፡ 1-10 ቶር | ጠንካራነት HV3000፣ ውፍረት 20-50um፣ እጅግ በጣም ዝገትን የሚቋቋም (እንደ HCl፣ NH₃፣ ወዘተ ያሉ ጎጂ ጋዞችን መቋቋም ይችላል።) | በጣም የሚበላሹ አካባቢዎች (እንደ ጋኤን ኤፒታክሲ እና ኤክሪንግ መሣሪያዎች ያሉ)፣ ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት መጠን 2600°C የሚያስፈልጋቸው ልዩ ሂደቶች። |
የጥራት ቁጥጥር
የሽፋን ውፍረት: የሌዘር ውፍረት መለኪያ (ትክክለኝነት ± 1um) ወይም የ SEM መስቀል-ክፍል ትንተና.
የማስያዣ ጥንካሬ፡ የጭረት ሙከራ (ወሳኝ ጭነት> 50N) ወይም የአልትራሳውንድ ሙከራ (የድምጽ ፍጥነት> 5000ሜ/ሰ)።
የዝገት መቋቋም፡ የጅምላ ኪሳራ መጠን (<0.1 mg/cm²・h) በHCl ከባቢ አየር (5 ቮል%፣ 1600℃) ውስጥ ተፈትኗል።
VET ኢነርጂ በ R&D ላይ ያተኮረ ፕሮፌሽናል አምራች ሲሆን እንደ ግራፋይት፣ ሲሊከን ካርቦይድ፣ ኳርትዝ ያሉ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የላቁ ቁሶችን በማምረት እንዲሁም እንደ ሲሲ ሽፋን፣ ታሲ ሽፋን፣ ብርጭቆ የካርቦን ሽፋን፣ ፓይሮሊቲክ የካርቦን ሽፋን፣ ወዘተ.
የእኛ የቴክኒክ ቡድን ከከፍተኛ የሀገር ውስጥ የምርምር ተቋማት የመጣ ነው, ለእርስዎ የበለጠ ሙያዊ የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ሊያቀርብልዎ ይችላል.
የ VET ኢነርጂ ጥቅሞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:
• የራሱ ፋብሪካ እና ሙያዊ ላብራቶሪ;
• ኢንዱስትሪ-መሪ የንጽህና ደረጃዎች እና ጥራት;
• ተወዳዳሪ ዋጋ እና ፈጣን መላኪያ ጊዜ;
• በዓለም ዙሪያ በርካታ የኢንዱስትሪ ሽርክናዎች;
ፋብሪካችንን እና ቤተ ሙከራችንን በማንኛውም ጊዜ እንድትጎበኙ እንመኛለን!
