Anel de grafito revestido de TaC

VET Energy céntrase na I+D e na produción de aneis de grafito revestidos de carburo de tántalo (TaC) de alto rendemento mediante CVD, e comprométese a proporcionar solucións básicas de materiais consumibles para as industrias de semicondutores, fotovoltaicas e de alta temperatura. A nosa tecnoloxía de deposición química en fase de vapor (CVD), desenvolvida de forma independente, forma un revestimento denso e uniforme de carburo de tántalo na superficie do substrato de grafito mediante procesos de precisión, mellorando significativamente a resistencia ao uso a altas temperaturas (>3000 ℃), á corrosión e ao choque térmico do produto, prolongando a vida útil en máis de 3 veces e reducindo os custos integrais dos clientes.

As nosas vantaxes técnicas:
1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas
Nunha atmosfera de aire de 1200 ℃, a taxa de ganancia de peso de oxidación é ≤0,05 mg/cm²/h, o que é máis de 3 veces a vida útil da resistencia á oxidación do grafito ordinario e é axeitado para condicións de ciclo de quecemento-arrefriamento de alta frecuencia.
2. Resistencia á corrosión do silicio fundido/metal
O revestimento de TaC é extremadamente inerte a metais como o silicio líquido (1600 ℃), o aluminio/cobre fundido, etc., evitando a falla estrutural dos aneis guía tradicionais debido á penetración do metal, especialmente axeitado para semicondutores de potencia e fabricación de semicondutores de terceira xeración.
3. Contaminación de partículas ultrabaixa
O proceso de deposición química en fase CVD consegue unha densidade de revestimento >99,5 % e unha rugosidade superficial de Ra ≤ 0,2 μm, o que reduce o risco de desprenderse de partículas desde a fonte e cumpre os estritos requisitos de limpeza da fabricación de obleas de 12 polgadas.
4. Control preciso do tamaño
Adoptando o mecanizado de precisión CNC, a tolerancia de tamaño do substrato de grafito é de ±0,01 mm e a deformación global despois do revestimento é de <±5 μm, o que é axeitado para a instalación en cámaras de equipos de alta precisión.