Perahu Keping Kuarsaadalah alat pembawa utama dalam manufaktur semikonduktor, produksi sel fotovoltaik, dan penelitian serta pengembangan material canggih, yang dirancang untuk transfer dan penempatan wafer yang stabil dalam proses suhu tinggi. Produk ini terbuat dari silika leburan (SiO2) dengan kemurnian sangat tinggi, memiliki ketahanan suhu yang sangat baik, stabilitas kimia, dan karakteristik kontaminasi logam yang sangat rendah, cocok untuk tungku difusi, tungku oksidasi, PECVD/LPCVD, dan peralatan lainnya, banyak digunakan dalam pelapisan wafer, implantasi ion, anil suhu tinggi, dan proses inti lainnya.
Keunggulan Utama Kapal Kuarsa VET Energy:
- Bahan dengan kemurnian sangat tinggi
Kemurnian ≥99,99%: Kandungan pengotor (Na, K, Fe, dll.) <5ppm, menghindari kontaminasi wafer dan menjamin hasil produksi chip.
Presipitasi dan adsorpsi rendah: permukaan dipoles super (Ra≤0,4μm) untuk mengurangi adhesi partikel dan residu gas. - Stabilitas suhu tinggi
Batas suhu: Suhu kerja jangka panjang 1100℃, suhu puncak jangka pendek 1300℃, tidak terjadi deformasi, tidak terjadi pengendapan kristal.
Koefisien ekspansi termal rendah (5,5x10-7/℃), ketahanan terhadap guncangan termal yang sangat baik, dapat beradaptasi dengan proses kenaikan dan penurunan suhu yang cepat (misalnya, anil cepat RTP). - Desain struktural yang presisi
Presisi slot ±0,1 mm: mencocokkan wafer 2” hingga 12”, kesalahan keseragaman jarak <0,05 mm, memastikan wafer tidak memiliki offset.
Kapasitas beban tinggi: Beban maksimum 50 wafer (dalam hal wafer 12 inci) dalam satu wadah, mendukung transfer stabil wafer tipis (≥100um). - Kelembaman kimia
Ketahanan terhadap korosi: Tahan terhadap korosi asam (kecuali HF), alkali, dan pelarut organik, kompatibel dengan proses pembersihan CMP.
Kekedapan gas yang sangat baik: Tingkat kebocoran <5x10-10 Pa.m3/s, cocok untuk lingkungan vakum dan gas pelindung. - Umur panjang dan kemudahan perawatan
Masa pakai yang diharapkan ≥ 5000 siklus (kondisi kerja normal), permukaan dapat dibersihkan dan digunakan berulang kali, sehingga mengurangi biaya keseluruhan.
Desain modular: mendukung penggantian sebagian (misalnya satu gigi perahu), mengurangi waktu henti.
Kami menawarkan permukaan transparan dan buram sesuai dengan kebutuhan pelanggan:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, termasuk grafit, silikon karbida, keramik, dan perawatan permukaan seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk ini banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.
Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan telah mengembangkan berbagai teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kinerja dan kualitas produk, serta dapat memberikan solusi material profesional kepada pelanggan.
