Susceptor berlapis silikon karbida adalaha kuncikomponen yang digunakan dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor.Kami menggunakan teknologi kami yang telah dipatenkan untuk membuat susceptor berlapis silikon karbida dengankemurnian sangat tinggi,Baguslapisankeseragamandan masa pakai yang sangat baik, dan jugaketahanan kimia dan sifat stabilitas termal yang tinggi.
VET Energi adalah ituprodusen nyata produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan lapisan CVD,dapat menyediakanbermacam-macamkomponen khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. OTim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesionaluntukmu.
Kami terus mengembangkan proses lanjutan untuk menyediakan material yang lebih canggih,Dantelah menemukan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih kuat dan tidak mudah terkelupas.
FFitur produk kami:
1. Tahan oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dankeseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama
| Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan | |
| 性质 / Properti | 典型数值 / Nilai Khas |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / Kepadatan | 3,21 gram/cm³ |
| 硬度 / Kekerasan | 2500 维氏硬度（beban 500g） |
| 晶粒大小 / Ukuran Butiran | Ukuran 2~10 mikrometer |
| 纯度 / Kemurnian Kimia | 99,99995% |
| 热容 / Kapasitas Panas | 640 J kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kekuatan Lentur | 415 MPa RT 4 titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃ |
| 导热系数 / TermaakuDaya konduksi | Daya 300Wm-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!
