Bagian dan Perakitan Setengah Bulan Grafit Berlapis SiC Untuk Epitaksi SiC

Deskripsi Singkat:

VET Energy adalah produsen dan pemasok profesional komponen inti tungku epitaksial silikon karbida. Perakitan setengah bulan kami menggunakan grafit dengan kemurnian tinggi yang dikombinasikan dengan teknologi pelapisan CVD yang canggih. Produk ini dirancang untuk lingkungan epitaksial bersuhu tinggi dan sangat korosif. Grafit dengan kemurnian tinggi memberikan komponen ketahanan suhu tinggi yang sangat baik (>1600℃) dan stabilitas termal, yang memastikan keseragaman medan termal; pelapisan CVD membentuk lapisan pelindung yang padat pada permukaan melalui teknologi CVD, yang secara signifikan meningkatkan sifat anti-oksidasi dan anti-etsa, serta memperpanjang masa pakai lebih dari 3 kali lipat.

Bahan:Grafit dengan kemurnian tinggi

Perlakuan:Pelapisan CVD-SiC atau CVD-TaC

Kustomisasi:Tersedia

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Bagian Halfmoon Grafit Berlapis SiCmerupakan komponen utama yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor, terutama untuk peralatan epitaksial SiC. Desain struktural dan sifat materialnya secara langsung menentukan kualitas dan efisiensi produksi wafer epitaksial.

Konstruksi ruang reaksi:
Bagian setengah bulan tersusun dari dua bagian, bagian atas dan bawah, yang diikat bersama untuk membentuk ruang pertumbuhan tertutup, yang menampung substrat silikon karbida (biasanya 4H-SiC atau 6H-SiC) dan mencapai pertumbuhan lapisan epitaksial dengan mengendalikan secara tepat medan aliran gas (seperti campuran SiH₄, C₃H₈, dan H₂).
Pengaturan medan suhu:
Basis grafit kemurnian tinggi dikombinasikan dengan kumparan pemanas induksi dapat menjaga keseragaman suhu ruang (dalam ±5°C) pada suhu tinggi 1500-1700°C untuk memastikan konsistensi ketebalan lapisan epitaksial.
Panduan aliran udara:
Dengan merancang posisi saluran masuk dan keluar udara (seperti saluran masuk udara samping dan saluran keluar udara atas pada badan tungku horizontal), aliran laminar gas reaksi dipandu melalui permukaan substrat untuk mengurangi cacat pertumbuhan yang disebabkan oleh turbulensi.

Bahan dasar: grafit kemurnian tinggi
Persyaratan kemurnian:kandungan karbon ≥99,99%, kadar abu ≤5ppm, untuk memastikan tidak ada kotoran yang mengendap dan mengontaminasi lapisan epitaksial pada suhu tinggi.
Keunggulan kinerja:
Konduktivitas termal tinggi:Konduktivitas termal pada suhu ruangan mencapai 150W/(m・K), yang mendekati tingkat tembaga dan dapat dengan cepat mentransfer panas.
Koefisien ekspansi rendah:Ukuran 5×10^-6/℃ (25-1000℃), cocok dengan substrat silikon karbida (4,2×10^-6/℃), mengurangi retaknya lapisan yang disebabkan oleh tekanan termal.
Akurasi pemrosesan:Toleransi dimensi ±0,05 mm dicapai melalui permesinan CNC untuk memastikan penyegelan ruang.

Aplikasi Terdiferensiasi CVD SiC dan CVD TaC

Lapisan	Proses	Perbandingan	Aplikasi khas
CVD-SiC	Suhu: 1000-1200℃Tekanan: 10-100 Torr	Kekerasan HV2500, ketebalan 50-100um, ketahanan oksidasi yang sangat baik (stabil di bawah 1600℃)	Tungku epitaksial universal, cocok untuk atmosfer konvensional seperti hidrogen dan silana
CVD-TaC	Suhu: 1600-1800℃Tekanan: 1-10 Torr	Kekerasan HV3000, ketebalan 20-50um, sangat tahan korosi (dapat menahan gas korosif seperti HCl, NH₃, dll.)	Lingkungan yang sangat korosif (seperti epitaksi GaN dan peralatan etsa), atau proses khusus yang memerlukan suhu sangat tinggi 2600 °C

VET Energy adalah produsen profesional yang berfokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta perawatan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Keunggulan VET Energy meliputi:
• Pabrik sendiri dan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;

Kami mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!