Bagian dan Rakitan Setengah Bulan Grafit Berlapis SiC untuk Epitaksi SiC

Deskripsi Singkat:

VET Energy adalah produsen dan pemasok profesional komponen inti tungku epitaksial silikon karbida. Rakitan setengah bulan kami menggunakan grafit kemurnian tinggi yang dikombinasikan dengan teknologi pelapisan CVD canggih. Rakitan ini dirancang untuk lingkungan epitaksial suhu tinggi dan sangat korosif. Grafit kemurnian tinggi memberikan komponen ketahanan suhu tinggi yang sangat baik (>1600℃) dan stabilitas termal, memastikan keseragaman medan termal; pelapisan CVD membentuk lapisan pelindung yang padat di permukaan melalui teknologi CVD, secara signifikan meningkatkan sifat anti-oksidasi dan anti-etsa, serta memperpanjang masa pakai lebih dari 3 kali lipat.

Bahan:Grafit dengan kemurnian tinggi

Perlakuan:Lapisan CVD-SiC atau CVD-TaC

Kustomisasi:Tersedia

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Bagian Setengah Bulan Grafit Berlapis SiCmerupakan komponen kunci yang digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor, terutama untuk peralatan epitaksi SiC. Desain struktural dan sifat materialnya secara langsung menentukan kualitas dan efisiensi produksi wafer epitaksi.

Konstruksi ruang reaksi:
Bagian berbentuk setengah bulan terdiri dari dua bagian, bagian atas dan bawah, yang disatukan untuk membentuk ruang pertumbuhan tertutup, yang menampung substrat silikon karbida (biasanya 4H-SiC atau 6H-SiC) dan mencapai pertumbuhan lapisan epitaksial dengan mengontrol secara tepat medan aliran gas (seperti campuran SiH₄, C₃H₈, dan H₂).
Pengaturan medan suhu:
Basis grafit dengan kemurnian tinggi yang dikombinasikan dengan kumparan pemanas induksi dapat menjaga keseragaman suhu ruang (dalam ±5°C) pada suhu tinggi 1500-1700°C untuk memastikan konsistensi ketebalan lapisan epitaksial.
Panduan aliran udara:
Dengan mendesain posisi saluran masuk dan keluar udara (seperti saluran masuk udara samping dan saluran keluar udara atas pada badan tungku horizontal), aliran laminar gas reaksi diarahkan melalui permukaan substrat untuk mengurangi cacat pertumbuhan yang disebabkan oleh turbulensi.

Bahan dasar: grafit dengan kemurnian tinggi
Persyaratan kemurnian:Kandungan karbon ≥99,99%, kandungan abu ≤5ppm, untuk memastikan tidak ada pengotor yang mengendap dan mencemari lapisan epitaksial pada suhu tinggi.
Keunggulan kinerja:
Konduktivitas termal tinggi:Konduktivitas termal pada suhu ruangan mencapai 150W/(m・K), yang mendekati tingkat tembaga dan dapat mentransfer panas dengan cepat.
Koefisien ekspansi rendah:5×10^-6/℃ (25-1000℃), sesuai dengan substrat silikon karbida (4,2×10^-6/℃), mengurangi keretakan lapisan yang disebabkan oleh tekanan termal.
Akurasi pemrosesan:Toleransi dimensi ±0,05 mm dicapai melalui pemesinan CNC untuk memastikan penyegelan ruang tersebut.

Aplikasi yang berbeda dari CVD SiC dan CVD TaC

Lapisan	Proses	Perbandingan	Aplikasi umum
CVD-SiC	Suhu: 1000-1200℃ Tekanan: 10-100 Torr	Kekerasan HV2500, ketebalan 50-100um, ketahanan oksidasi yang sangat baik (stabil di bawah 1600℃)	Tungku epitaksial universal, cocok untuk atmosfer konvensional seperti hidrogen dan silana.
CVD-TaC	Suhu: 1600-1800℃ Tekanan: 1-10 Torr	Kekerasan HV3000, ketebalan 20-50um, sangat tahan korosi (dapat menahan gas korosif seperti HCl, NH₃, dll.)	Lingkungan yang sangat korosif (seperti peralatan epitaksi dan etsa GaN), atau proses khusus yang membutuhkan suhu sangat tinggi hingga 2600°C.

VET Energy adalah produsen profesional yang fokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta pengolahan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Keunggulan VET Energy meliputi:
• Memiliki pabrik dan laboratorium profesional sendiri;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;

Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!