דרישות תעשיית המוליכים למחצה לחומרי גרפיט הן גבוהות במיוחד. לגרפיט יש יתרונות רבים כמו דיוק גבוה, עמידות בטמפרטורה גבוהה, חוזק גבוה ואובדן נמוך, כגון: עובש למוצרי גרפיט מסונטרים.מכיוון שציוד הגרפיט המשמש בתעשיית המוליכים למחצה (כולל תנורי חימום ומשטחים מסונטרים שלהם) נדרש לעמוד בתהליכי חימום וקירור חוזרים ונשנים, על מנת להאריך את חיי השירות של ציוד הגרפיט, נדרש בדרך כלל שחומרי הגרפיט המשמשים יהיו בעלי ביצועים יציבים ותפקוד עמיד בפני פגיעות בחום.
01 אביזרי גרפיט לגידול גבישי מוליכים למחצה
כל התהליכים המשמשים לגידול גבישי מוליכים למחצה פועלים בטמפרטורה גבוהה ובסביבה קורוזיבית. האזור החם של תנור גידול הגבישים מצויד בדרך כלל ברכיבי גרפיט בעלי טוהר גבוה, עמידים בחום ובקורוזיה, כגון גוף חימום, כור היתוך, גליל בידוד, גליל מנחה, אלקטרודה, מחזיק כור היתוך, אום אלקטרודה וכו'.
אנו יכולים לייצר את כל חלקי הגרפיט של מכשירי ייצור גבישים, אשר ניתנים להזמנה בנפרד או בסטים, או חלקי גרפיט מותאמים אישית בגדלים שונים בהתאם לדרישות הלקוח. ניתן למדוד את גודל המוצרים באתר, ותכולת האפר של המוצרים המוגמרים יכולה להיות נמוכה יותר.מ-5 ppm.
02 אביזרי גרפיט לאפיטקסיה של מוליכים למחצה
תהליך אפיטקסיאלי מתייחס לגידול של שכבה של חומר גבישי יחיד עם סידור סריג זהה למצע על גבי מצע הגביש היחיד. בתהליך האפיטקסיאלי, הוופלים נטענים על דיסק הגרפיט. ביצועי דיסק הגרפיט ואיכותם ממלאים תפקיד חיוני באיכות השכבה האפיטקסיאלית של הוופלים. בתחום ייצור האפיטקסיאלי, נדרשים הרבה גרפיט בעל טוהר גבוה במיוחד ובסיס גרפיט בעל טוהר גבוה עם ציפוי SIC.
לבסיס הגרפיט של החברה שלנו לאפיטקסיה של מוליכים למחצה מגוון רחב של יישומים, הוא יכול להתאים לרוב הציוד הנפוץ בתעשייה, והוא בעל טוהר גבוה, ציפוי אחיד, חיי שירות מצוינים, עמידות כימית ויציבות תרמית גבוהות.
03 אביזרי גרפיט להשתלת יונים
השתלת יונים מתייחסת לתהליך של האצת קרן הפלזמה של בורון, זרחן וארסן לאנרגיה מסוימת, ולאחר מכן הזרקתם לשכבת פני השטח של חומר הוופל כדי לשנות את תכונות החומר של שכבת פני השטח. רכיבי התקן השתלת היונים צריכים להיות עשויים מחומרים בעלי טוהר גבוה עם עמידות חום מעולה, מוליכות תרמית, פחות קורוזיה הנגרמת על ידי קרן יונים ותכולת זיהומים נמוכה. גרפיט בעל טוהר גבוה עומד בדרישות היישום, וניתן להשתמש בו עבור צינור מעוף, חריצים שונים, אלקטרודות, כיסויי אלקטרודות, תעלות, מסיימי קרן וכו' של ציוד השתלת יונים.
אנו יכולים לא רק לספק כיסויי מגן גרפיט עבור מכונות השתלת יונים שונות, אלא גם לספק אלקטרודות גרפיט ומקורות יונים בעלי טוהר גבוה ועמידות גבוהה בפני קורוזיה במפרטים שונים. דגמים רלוונטיים: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM וציוד אחר. בנוסף, אנו יכולים לספק גם מוצרי קרמיקה, טונגסטן, מוליבדן ואלומיניום תואמים וחלקים מצופים.
04 חומרי בידוד גרפיט ואחרים
חומרי בידוד תרמי המשמשים בציוד לייצור מוליכים למחצה כוללים לבד גרפיט קשיח, לבד רך, נייר כסף גרפיט, נייר גרפיט וחבל גרפיט.
כל חומרי הגלם שלנו הם גרפיט מיובא, אשר ניתן לחתוך בהתאם לגודל הספציפי של דרישות הלקוח או למכור אותו כמקשה אחת.
מגש הפחמן-פחמן משמש כנשא לציפוי הסרט בתהליך הייצור של סיליקון חד-קריסטלי ותאי סיליקון פולי-קריסטלי סולאריים. עקרון הפעולה הוא: הכנסת שבב הסיליקון למגש ה-CFC והעברתו לצינור הכבשן לעיבוד ציפוי הסרט.
