VETエネルギー炭化ケイ素コーティンググラファイトトレイプレートとカバーは、最高レベルの性能を発揮するように設計されており、長期間の使用でも信頼性と一貫性のある動作を実現するため、半導体業界のウェーハ処理アプリケーションに不可欠な選択肢となっています。炭化ケイ素コーティンググラファイトプレート優れた耐熱性、卓越した熱均一性、特に高温条件下での優れた化学的安定性を誇ります。高純度構造と高度な耐侵食性により、以下のような過酷な環境に不可欠です。MOCVDサセプター.
炭化ケイ素コーティンググラファイトトレイ、プレート、およびカバーの主な特徴
1. 高温酸化耐性:最高1700℃までの温度に耐えることができ、過酷な条件下でも確実に動作します。
2. 高純度と熱均一性:MOCVD用途においては、一貫した高純度と均一な熱分布が極めて重要である。
3. 優れた耐腐食性:酸、アルカリ、塩類、および各種有機試薬に対する耐性があり、多様な環境下で長期的な安定性を確保します。
4. 高硬度と緻密な表面:微粒子が密集した表面構造により、耐久性と耐摩耗性が向上しています。
5. 長寿命化:長寿命設計で、従来品を凌駕する性能を発揮炭化ケイ素コーティングされたグラファイトサセプター過酷な半導体製造環境において。
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 標準値 |
| 結晶構造 結晶構造 | FCC β相多結晶、主に(111)取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 硬度 | 2500维度硬度(500g荷重) |
| 結晶粒大小 / 粒の大きさ | 2~10μm |
| 度 化学的純度 | 99.99995% |
| 熱容 熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 ヤング率 | 430 GPa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマl導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyのカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素ソリューションにおける専門知識
信頼できるメーカーとして、VET Energyはカスタム設計のグラファイトサセプターと炭化ケイ素コーティングソリューションを専門としています。当社は、半導体および太陽光発電業界向けにカスタマイズされた幅広い製品を提供しています。SiCコーティングされたグラファイト部品トレイ、プレート、カバーなど。当社の製品ラインナップには、次のような多様なコーティングオプションも含まれています。MOCVD用SiCコーティング, TaCコーティング, ガラス状炭素コーティングさらに、熱分解炭素コーティングを施すことで、ハイテク産業の多様なニーズに対応しています。
国内トップクラスの研究機関出身の専門家で構成された経験豊富な技術チームが、お客様に包括的な材料ソリューションを提供します。当社は、炭化ケイ素コーティングとグラファイト基板との密着性を高め、剥離リスクを低減し、製品寿命をさらに延ばす独自の特許技術をはじめとする高度なプロセスを継続的に改良しています。
半導体製造における応用と利点
のMOCVD用炭化ケイ素コーティングこれらのグラファイトサセプターは、高温腐食環境において非常に効果的です。グラファイトウェーハキャリアまたはその他のMOCVDコンポーネントとして使用される場合でも、これらの炭化ケイ素コーティングサセプターは優れた耐久性と性能を発揮します。SiCコーティングされたグラファイトサセプター半導体業界において、VET Energy社の炭化ケイ素コーティングされたグラファイト製トレイ、プレート、およびカバーは、半導体業界の厳しい要求を満たす堅牢で汎用性の高い選択肢を提供します。
VET Energyは、先進的な材料科学に注力することで、半導体プロセスにおける革新を推進し、MOCVD関連のあらゆる用途において信頼性の高い性能を保証する、高性能なSiCコーティンググラファイトソリューションの提供に尽力しています。
VET Energyは、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなど、さまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカーであり、半導体および太陽光発電業界向けにさまざまなカスタマイズ部品を提供できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために、常に先進的なプロセスを開発しており、コーティングと基材との結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう!
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