VETエネルギーシリコンカーバイドコーティンググラファイトトレイ、プレート、カバーは、最高レベルの性能を発揮するように設計されており、長期間の使用でも信頼性と一貫性のある動作を提供し、半導体業界のウェーハ処理アプリケーションに不可欠な選択肢となっています。この高性能シリコンカーバイドコーティンググラファイトプレート優れた耐熱性、優れた熱均一性、そして特に高温環境下における優れた化学的安定性を誇ります。高純度構造と高度な耐侵食性により、次のような過酷な環境にも不可欠な製品となっています。MOCVDサセプター.
シリコンカーバイドコーティンググラファイトトレイ、プレート、カバーの主な特徴
1. 高温酸化耐性:最高1700℃の温度に耐え、過酷な条件下でも確実に動作します。
2. 高純度と熱均一性:MOCVD アプリケーションでは、一貫した高純度と均一な熱分布が重要です。
3. 優れた耐腐食性:酸、アルカリ、塩、さまざまな有機試薬に耐性があり、さまざまな環境で長期的な安定性を保証します。
4. 高硬度と緻密な表面:微粒子を配合した緻密な表面が特徴で、全体的な耐久性と耐摩耗性が向上します。
5. 長寿命化:長寿命設計で従来品を上回る炭化ケイ素コーティンググラファイトサセプター過酷な半導体処理環境において。
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 標準値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCCβ相多結晶、主である(111)取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度(500g荷重) |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2~10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / サーマl導電率 | 300W·m-1·K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyのカスタマイズされたグラファイトおよびシリコンカーバイドソリューションに関する専門知識
信頼できるメーカーとして、VET Energyはカスタム設計のグラファイトサセプターとシリコンカーバイドコーティングソリューションを専門としています。半導体および太陽光発電業界向けにカスタマイズされた幅広い製品を提供しています。SiCコーティンググラファイト部品トレイ、プレート、カバーなど。また、当社の製品ラインナップには、以下のような多様なコーティングオプションも含まれています。MOCVD用SiCコーティング, TaCコーティング, ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの技術を導入し、ハイテク産業の多様なニーズに応えています。
国内トップクラスの研究機関出身の専門家で構成される経験豊富な技術チームが、お客様に包括的な材料ソリューションを提供します。シリコンカーバイドコーティングとグラファイト基板の接着力を強化し、剥離リスクを低減し、製品寿命をさらに延ばす独自の特許技術をはじめ、高度なプロセスを継続的に改良しています。
半導体製造におけるアプリケーションと利点
そのMOCVD用シリコンカーバイドコーティングこれらのグラファイトサセプターは、高温・腐食環境下でも優れた性能を発揮します。グラファイトウェーハキャリアやその他のMOCVDコンポーネントとして使用する場合でも、これらのシリコンカーバイドコーティングサセプターは優れた耐久性と性能を発揮します。信頼性の高いソリューションをお探しのお客様にとって、SiCコーティンググラファイトサセプター市場において、VET Energy のシリコンカーバイドコーティンググラファイトトレイ、プレート、カバーは、半導体業界の厳しい要求を満たす堅牢で多用途なオプションを提供します。
VET Energy は、高度な材料科学に重点を置くことで、半導体処理の革新を推進し、すべての MOCVD 関連アプリケーションで信頼性の高いパフォーマンスを保証する高性能 SiC コーティング グラファイト ソリューションの提供に取り組んでいます。
VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者であり、半導体および太陽光発電業界向けのさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを継続的に開発しており、コーティングと基材の結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。
-
CVD SiC コーティング炭素炭素複合材 CFC ボート...
-
CVD SiCコーティング炭素炭素複合金型
-
SiCコーティングを施した炭素繊維複合板
-
CVD SiCコーティング CC 複合ロッド、シリコンカーバイド...
-
グラファイトモールドコーティング鋳造ボート
-
高強度カーボングラファイトチューブ、高密度...
-
STM32 用シリコンカーバイドコーティンググラファイト基板
-
シリコンカーバイドを含むグラファイト基板/キャリア
-
CVDシリコンカーバイドコーティングMOCVDサセプター
-
シリコンカーバイドコーティンググラファイトトレイプレートおよび...
-
表面コーティンググラファイトチューブ、小型グラファイトチューブ...
-
シリコンリング カーボンシールリング ポンプ メカニカル...
-
カーボングラファイトローターの新製品が中国で発売
-
活性炭繊維生地、活性炭...







