PECVD用グラファイト基板ウェハホルダー

VET Energyのグラファイト基板ウェーハホルダーは、PECVD（プラズマ強化化学気相成長法）プロセス用に設計された精密キャリアです。この高品質グラファイト基板ホルダーは、高純度・高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えています。PECVDプロセスに安定した支持プラットフォームを提供し、成膜の均一性と平坦性を確保します。

VET Energy社のPECVDプロセス用グラファイトウェーハ支持テーブルは、以下の特徴を備えています。

▪高純度：極めて低い不純物含有量により、フィルムの汚染を防ぎ、フィルムの品質を確保します。

▪高密度：高密度、高機械的強度で、高温高圧のPECVD環境に耐えることができる。

▪優れた寸法安定性：高温下でも寸法変化が小さく、プロセスの安定性を確保します。

▪優れた熱伝導性：熱を効率的に伝達し、ウェハーの過熱を防ぐ。

▪優れた耐食性：様々な腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えることができる。

▪カスタマイズされたサービス：グラファイト製のサポートテーブルは、お客様のニーズに合わせて様々なサイズや形状にカスタマイズ可能です。

製品の利点

▪フィルムの品質を向上させる：均一な成膜を確保し、膜の品質を向上させる。

▪機器の寿命を延ばす：優れた耐食性により、PECVD装置の耐用年数を延ばします。

▪生産コストを削減する：高品質のグラファイトトレイを使用することで、不良率を低減し、生産コストを削減できます。