PECVD用グラファイト基板ウェーハホルダー

VET Energyグラファイト基板ウェーハホルダーは、PECVD（プラズマ化学気相成長）プロセス用に設計された精密キャリアです。この高品質グラファイト基板ホルダーは、高純度・高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えています。PECVDプロセスに安定した支持プラットフォームを提供し、膜堆積の均一性と平坦性を確保します。

VET Energy PECVD プロセス グラファイト ウェーハ サポート テーブルには次の特性があります。

▪高純度：不純物含有量が極めて低く、フィルムの汚染を防ぎ、フィルムの品質を保証します。

▪高密度：高密度、高機械的強度、高温高圧PECVD環境に耐えることができます。

▪優れた寸法安定性：高温でも寸法変化が小さく、プロセスの安定性が確保されます。

▪優れた熱伝導性：熱を効果的に伝達し、ウェハの過熱を防ぎます。

▪強力な耐腐食性：さまざまな腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えることができます。

▪カスタマイズサービス:さまざまなサイズと形状のグラファイト サポート テーブルを、お客様のニーズに合わせてカスタマイズできます。

製品の利点

▪フィルム品質の向上:均一なフィルム堆積を保証し、フィルム品質を向上させます。

▪機器の寿命を延ばす:耐腐食性に優れ、PECVD 装置の耐用年数を延ばします。

▪生産コストを削減:高品質のグラファイトトレイは廃棄率を低減し、生産コストを削減します。