VETエネルギーPECVDプロセス用グラファイトキャリアは、PECVD（プラズマ強化化学気相成長法）プロセス専用に設計された高品質の消耗品です。このグラファイトキャリアは、高純度・高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備え、PECVDプロセスに安定したキャリアプラットフォームを提供することで、薄膜堆積の均一性と平坦性を確保します。
PECVDプロセス用のグラファイトキャリアは、以下の特性を有しています。
▪ 高純度：不純物含有量が極めて低く、フィルムの汚染を防ぎ、フィルムの品質を確保します。
▪ 高密度：高密度、高機械的強度、高温高圧のPECVD環境に耐えることができる。
▪優れた寸法安定性：高温下でも寸法変化が小さく、プロセスの安定性を確保します。
▪優れた熱伝導性：効果的に熱を伝達し、ウェハーの過熱を防ぎます。
▪ 優れた耐腐食性：様々な腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えることができます。
▪ カスタマイズサービス：お客様のニーズに合わせて、さまざまなサイズや形状のグラファイトキャリアをカスタマイズできます。
SGL社製グラファイト素材：
| 標準パラメータ：R6510 | |||
| 索引 | 試験規格 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO 13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 開放多孔性 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 熱膨張（20～200℃） | DIN 51909 | 4.2×10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率太陽電池製造向けに特別に設計されており、G12大型ウェハの処理に対応しています。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減を実現します。
| アイテム | タイプ | 番号ウェハーキャリア |
| PEVCD グレファイトボート - 156シリーズ | 156-13 グレフィテボート | 144 |
| 156-19 グレフィテボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイトボート - 125シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
