VETエネルギーPECVDプロセス用グラファイトキャリアは、PECVD（プラズマ化学気相成長）プロセス向けにカスタマイズされた高品質の消耗品です。このグラファイトキャリアは、高純度・高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えており、PECVDプロセスに安定したキャリアプラットフォームを提供し、薄膜堆積の均一性と平坦性を確保します。
PECVD プロセス用のグラファイト キャリアには次の特性があります。
▪ 高純度: 不純物含有量が極めて低いため、フィルムの汚染を防ぎ、フィルムの品質を保証します。
▪ 高密度: 高密度、高機械的強度、高温高圧 PECVD 環境に耐えることができます。
▪ 寸法安定性が良好：高温でも寸法変化が少なく、プロセスの安定性が確保されます。
▪ 優れた熱伝導性: 熱を効果的に伝達し、ウェハの過熱を防ぎます。
▪ 強力な耐腐食性：さまざまな腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えることができます。
▪ カスタマイズサービス: さまざまなサイズと形状のグラファイトキャリアを顧客のニーズに合わせてカスタマイズできます。
SGLのグラファイト材料：
| 標準パラメータ: R6510 | |||
| 索引 | 試験基準 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO 13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 開放気孔率 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 熱膨張（20～200℃） | DIN 51909 | 4.2×10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率太陽電池製造向けに特別に設計されており、G12の大型ウェハ処理をサポートします。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減を実現します。
| アイテム | タイプ | ウエハキャリア番号 |
| PEVCD グレファイトボート - 156シリーズ | 156-13 グレファイトボート | 144 |
| 156-19 グレファイトボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイトボート - 125シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
