КРЕМНИЙЛІ ВАПЕЛЬ
ситрониктен
Aвафлитехникалық тұрғыдан өте күрделі процедуралардың арқасында өте тегіс беті бар шамамен 1 миллиметр қалыңдықтағы кремний кесегі. Кейінгі пайдалану қандай кристалды өсіру процедурасын қолдану керектігін анықтайды. Мысалы, Чохральский процесінде поликристалды кремний ерітіліп, қарындаштай жұқа тұқымдық кристал балқытылған кремнийге батырылады. Содан кейін тұқымдық кристалл айналдырылып, баяу жоғары қарай тартылады. Өте ауыр монокристалл пайда болады. Монокристалдың электрлік сипаттамаларын жоғары тазалықтағы қоспалардың шағын бөліктерін қосу арқылы таңдауға болады. Кристалдар тұтынушының талаптарына сәйкес легирленеді, содан кейін жылтыратылған және кесектерге кесіледі. Әртүрлі қосымша өндіріс кезеңдерінен кейін тұтынушы көрсетілген пластиналарды арнайы қаптамада алады, бұл тұтынушыға пайдалануға мүмкіндік бередівафлибірден өндіріс желісінде.
Бүгінгі таңда кремний монокристалдарының үлкен бөлігі Чохральский процесіне сәйкес өсіріледі, бұл поликристалды жоғары таза кремнийді аса таза кварц тигельінде балқытып, қоспаны (әдетте B, P, As, Sb) қосуды қамтиды. Жұқа, монокристалды тұқым кристалы балқытылған кремнийге батырылады. Содан кейін осы жұқа кристалдан үлкен CZ кристалы пайда болады. Балқытылған кремний температурасы мен ағынын, кристал мен тигельдің айналуын, сондай-ақ кристалдың тарту жылдамдығын дәл реттеу өте жоғары сапалы монокристалды кремний құймасын алуға әкеледі.
Жарияланған уақыты: 03.06.2021