Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің графит материалдарына қойылатын талаптары ерекше жоғары, графиттің ұсақ бөлшектерінің өлшемі жоғары дәлдікке, жоғары температураға төзімділікке, жоғары беріктікке, аз шығынға және басқа да артықшылықтарға ие, мысалы: күйдірілген графит өнімдерінің қалыптауы.Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде қолданылатын графит жабдықтары (қыздырғыштар мен олардың күйдірілген қалыптарын қоса алғанда) қайталанатын қыздыру және салқындату процестеріне төтеп беруі қажет болғандықтан, графит жабдықтарының қызмет ету мерзімін ұзарту үшін әдетте қолданылатын графит материалдарының тұрақты өнімділігі және ыстыққа төзімділігі талап етіледі.
01 Жартылай өткізгіш кристалдарды өсіруге арналған графит аксессуарлары
Жартылай өткізгіш кристалдарды өсіру үшін қолданылатын барлық процестер жоғары температура мен коррозияға төзімді ортада жұмыс істейді. Кристалл өсіру пешінің ыстық аймағы әдетте қыздырғыш, тигель, оқшаулағыш цилиндр, бағыттаушы цилиндр, электрод, тигель ұстағыш, электрод гайкасы және т.б. сияқты ыстыққа төзімді және коррозияға төзімді жоғары тазалықтағы графит компоненттерімен жабдықталған.
Біз кристалл өндірісі құрылғыларының барлық графит бөлшектерін жеке немесе жиынтық түрінде немесе тапсырыс берушінің талаптарына сәйкес әртүрлі өлшемдегі графит бөлшектерін жасай аламыз. Өнімдердің өлшемдерін орнында өлшеуге болады, ал дайын өнімнің күл мөлшері аз болуы мүмкін.5 ppm-ден астам.
02 Жартылай өткізгіш эпитаксияға арналған графит аксессуарлары
Эпитаксиалды процесс дегеніміз - монокристалды субстраттағы субстратпен бірдей торлы орналасуы бар монокристалды материал қабатының өсуі. Эпитаксиалды процесте пластина графит дискісіне жүктеледі. Графит дискісінің өнімділігі мен сапасы пластинаның эпитаксиалды қабатының сапасында маңызды рөл атқарады. Эпитаксиалды өндіріс саласында көп мөлшерде ультра жоғары тазалықтағы графит және SIC жабыны бар жоғары тазалықтағы графит негізі қажет.
Біздің компанияның жартылай өткізгіш эпитаксияға арналған графит негізі кең ауқымды қолданысқа ие, салада жиі қолданылатын жабдықтардың көпшілігіне сәйкес келеді және жоғары тазалыққа, біркелкі жабынға, тамаша қызмет ету мерзіміне, жоғары химиялық төзімділікке және термиялық тұрақтылыққа ие.
03 Иондық имплантацияға арналған графит аксессуарлары
Иондық имплантация дегеніміз бордың, фосфордың және мышьяктың плазмалық сәулесін белгілі бір энергияға дейін жеделдету, содан кейін оны пластина материалының беткі қабатына енгізу арқылы беткі қабаттың материалдық қасиеттерін өзгерту процесін білдіреді. Иондық имплантация құрылғысының компоненттері тамаша жылуға төзімділік, жылу өткізгіштік, иондық сәуледен туындайтын коррозияны азайту және қоспаның төмен мөлшері бар жоғары тазалықтағы материалдардан жасалуы керек. Жоғары тазалықтағы графит қолдану талаптарына сай келеді және иондық имплантация жабдықтарының ұшу түтігі, әртүрлі саңылаулар, электродтар, электрод қақпақтары, өткізгіштер, сәулелік терминаторлар және т.б. үшін пайдаланылуы мүмкін.
Біз әртүрлі иондық имплантация машиналары үшін графиттен қорғайтын жабынды ғана емес, сонымен қатар әртүрлі сипаттамалардағы жоғары коррозияға төзімділігі бар жоғары тазалықтағы графит электродтары мен ион көздерін де ұсына аламыз. Қолданылатын модельдер: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM және басқа да жабдықтар. Сонымен қатар, біз сәйкес келетін керамика, вольфрам, молибден, алюминий өнімдері мен жабыны бар бөлшектерді де ұсына аламыз.
04 Графит оқшаулағыш материалдары және басқалары
Жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында қолданылатын жылу оқшаулағыш материалдарға графит қатты киіз, жұмсақ киіз, графит фольга, графит қағазы және графит арқан жатады.
Біздің барлық шикізатымыз импорттық графит болып табылады, оны тұтынушының талаптарының нақты өлшеміне сәйкес кесуге немесе тұтастай сатуға болады.
Көміртекті-көміртекті науа күн энергиясымен жұмыс істейтін монокристалды кремний және поликристалды кремний элементтерін өндіру процесінде пленка жабындысын тасымалдаушы ретінде қолданылады. Жұмыс принципі: кремний чипін ХФУ науасына салып, пленка жабынын өңдеу үшін пеш түтігіне жіберу.
