КРЕМНИЙ ВАФЕРИ
ситрониктен
Aвафлиболжол менен 1 миллиметр калыңдыктагы кремний кесими, ал техникалык жактан абдан татаал процедуралардын аркасында өтө жалпак бетке ээ. Андан кийинки колдонуу кайсы кристалл өстүрүү процедурасын колдонуу керектигин аныктайт. Мисалы, Чохральский процессинде поликристаллдык кремний эритилет жана карандаштай жука урук кристаллы эритилген кремнийге малынган. Андан кийин урук кристаллы айландырылып, акырындык менен өйдө карай тартылат. Абдан оор колосс, монокристалл пайда болот. Монокристалдын электрдик мүнөздөмөлөрүн жогорку тазалыктагы кошулмалардын кичинекей бирдиктерин кошуу менен тандоого болот. Кристаллдар кардардын талаптарына ылайык кошулуп, андан кийин жылмаланып, кесимдерге кесилет. Ар кандай кошумча өндүрүш кадамдарынан кийин, кардар көрсөтүлгөн пластиналарды атайын таңгактоодо алат, бул кардарга колдонууга мүмкүндүк беретвафлидароо эле өзүнүн өндүрүш линиясында.
Бүгүнкү күндө кремний монокристаллдарынын көпчүлүк бөлүгү Чохральский процесси боюнча өстүрүлөт, ал поликристаллдык жогорку таза кремнийди өтө таза кварц тигелине эритип, кошулманы (адатта B, P, As, Sb) кошууну камтыйт. Жука, монокристаллдык үрөн кристаллы эриген кремнийге малынган. Андан кийин бул жука кристаллдан чоң CZ кристаллы пайда болот. Эриген кремнийдин температурасын жана агымын, кристаллдын жана тигельдин айлануусун, ошондой эле кристаллдын тартуу ылдамдыгын так жөнгө салуу өтө жогорку сапаттагы монокристаллдык кремний куймасын алууга алып келет.
Жарыяланган убактысы: 2021-жылдын 3-июну