เวเฟอร์ซิลิโคน

เวเฟอร์ซิลิโคน

จากซิทรอนิกส์

Aเวเฟอร์เป็นแผ่นซิลิคอนที่มีความหนาประมาณ 1 มิลลิเมตรซึ่งมีพื้นผิวเรียบมากเนื่องจากขั้นตอนทางเทคนิคที่ต้องใช้ความแม่นยำสูง การใช้งานในขั้นตอนต่อไปจะกำหนดว่าควรใช้ขั้นตอนการปลูกผลึกแบบใด ตัวอย่างเช่น ในกระบวนการ Czochralski ซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์จะถูกหลอมละลายและผลึกเมล็ดบางเท่าดินสอจะถูกจุ่มลงในซิลิคอนที่หลอมละลาย จากนั้นผลึกเมล็ดจะถูกหมุนและดึงขึ้นช้าๆ จะได้ผลึกโมโนคริสตัลขนาดใหญ่ที่มีน้ำหนักมาก สามารถเลือกลักษณะทางไฟฟ้าของโมโนคริสตัลได้โดยการเพิ่มสารเจือปนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นหน่วยเล็กๆ ผลึกจะถูกเจือปนตามข้อกำหนดของลูกค้า จากนั้นจึงขัดและหั่นเป็นชิ้น หลังจากขั้นตอนการผลิตเพิ่มเติมต่างๆ ลูกค้าจะได้รับเวเฟอร์ที่ระบุในบรรจุภัณฑ์พิเศษ ซึ่งช่วยให้ลูกค้าสามารถใช้เวเฟอร์เข้าสู่สายการผลิตทันที

ปัจจุบัน โมโนคริสตัลซิลิคอนจำนวนมากได้รับการปลูกตามกระบวนการ Czochralski ซึ่งเกี่ยวข้องกับการหลอมซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงแบบโพลีคริสตัลไลน์ในเบ้าหลอมควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง และเติมสารเจือปน (โดยปกติคือ B, P, As, Sb) ผลึกโมโนคริสตัลไลน์บางๆ จะถูกจุ่มลงในซิลิคอนที่หลอมละลาย จากนั้นผลึก CZ ขนาดใหญ่จะพัฒนาจากผลึกบางๆ นี้ การควบคุมอุณหภูมิและการไหลของซิลิคอนที่หลอมละลาย การหมุนของผลึกและเบ้าหลอม ตลอดจนความเร็วในการดึงผลึกอย่างแม่นยำ ส่งผลให้ได้แท่งซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์คุณภาพสูงเป็นพิเศษ