КРЕМНИЕВАЯ ПЛАСТИНА

КРЕМНИЕВАЯ ПЛАСТИНА

от ситроника

AвафляЭто пластина из кремния толщиной примерно 1 миллиметр, имеющая чрезвычайно плоскую поверхность благодаря технически очень сложным процессам. Выбор метода выращивания кристаллов зависит от дальнейшего использования. Например, в процессе Чохральского поликристаллический кремний расплавляется, и тончайший затравочный кристалл погружается в расплавленный кремний. Затем затравочный кристалл вращается и медленно вытягивается вверх. В результате получается очень тяжелый гигант — монокристалл. Электрические характеристики монокристалла можно регулировать, добавляя небольшие количества высокочистых легирующих примесей. Кристаллы легируются в соответствии со спецификациями заказчика, затем полируются и нарезаются на пластины. После различных дополнительных этапов производства заказчик получает указанные пластины в специальной упаковке, что позволяет использовать их в дальнейшем.вафлянемедленно в свою производственную линию.

Сегодня значительная часть монокристаллов кремния выращивается по методу Чохральского, который включает в себя плавление поликристаллического кремния высокой чистоты в сверхчистом кварцевом тигле и добавление легирующей примеси (обычно B, P, As, Sb). Тонкий монокристаллический затравочный кристалл погружается в расплавленный кремний. Затем из этого тонкого кристалла образуется крупный кристалл, полученный методом Чохральского. Точная регулировка температуры и потока расплавленного кремния, вращения кристалла и тигля, а также скорости вытягивания кристалла позволяет получить монокристаллический слиток кремния чрезвычайно высокого качества.