КРЕМНИЕВАЯ ПЛАСТИНА
от ситроник
Aвафляпредставляет собой пластину кремния толщиной примерно 1 миллиметр, которая имеет чрезвычайно плоскую поверхность благодаря процедурам, которые технически очень сложны. Последующее использование определяет, какую процедуру выращивания кристаллов следует использовать. Например, в процессе Чохральского поликристаллический кремний расплавляется, и затравочный кристалл толщиной с карандаш погружается в расплавленный кремний. Затем затравочный кристалл вращается и медленно вытягивается вверх. Получается очень тяжелый колосс — монокристалл. Можно выбрать электрические характеристики монокристалла, добавляя небольшие единицы высокочистых легирующих примесей. Кристаллы легируются в соответствии со спецификациями заказчика, а затем полируются и разрезаются на пластины. После различных дополнительных этапов производства заказчик получает указанные им пластины в специальной упаковке, которая позволяет заказчику использоватьвафлянемедленно на производственной линии.
Сегодня большая часть монокристаллов кремния выращивается по методу Чохральского, который включает плавление поликристаллического высокочистого кремния в тигле из сверхчистого кварца и добавление легирующей примеси (обычно B, P, As, Sb). Тонкий монокристаллический затравочный кристалл погружается в расплавленный кремний. Затем из этого тонкого кристалла развивается большой кристалл CZ. Точное регулирование температуры и потока расплавленного кремния, вращения кристалла и тигля, а также скорости вытягивания кристалла приводит к получению монокристаллического кремниевого слитка исключительно высокого качества.
Время публикации: 03.06.2021