1 ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಅನ್ವಯ ಮತ್ತು ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಗತಿ
೧.೧ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯ ಮತ್ತು ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಗತಿ
ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ದಿಇಂಗಾಲ/ಇಂಗಾಲದ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ಇದನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಸಾಗಿಸುವ ಪಾತ್ರೆಯಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇದು ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿದೆಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ, ಚಿತ್ರ 2 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ. ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನವು ಸುಮಾರು 1450℃ ಆಗಿದ್ದು, ಇದು ಘನ ಸಿಲಿಕಾನ್ (ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ಡಬಲ್ ಸವೆತಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ತೆಳುವಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ಉಂಗುರದ ಬಿರುಕು ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ವಿಫಲಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಳದಲ್ಲೇ ಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ಸಂಯೋಜಿತ ಲೇಪನ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲಾಯಿತು. ಸಂಯೋಜಿತ ಲೇಪನವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ (100~300μm), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಪನ (10~20μm) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಲೇಪನ (50~100μm) ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿತ್ತು, ಇದು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ಸವೆತವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಂಯೋಜಿತ ಲೇಪಿತ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ನಷ್ಟವು ಪ್ರತಿ ಕುಲುಮೆಗೆ 0.04 ಮಿಮೀ, ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನವು 180 ಕುಲುಮೆಯ ಸಮಯವನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು.
ಸಂಶೋಧಕರು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿದರು, ಕೆಲವು ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ವಾಹಕ ಅನಿಲದ ರಕ್ಷಣೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೋಹವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿ ಬಳಸಿದರು. ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯು ಸಿಕ್ ಲೇಪನದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಬಲವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದಲ್ಲದೆ, ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ SiO ಆವಿ ಮತ್ತು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಆಮ್ಲಜನಕ ಪರಮಾಣುಗಳಿಂದ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಸವೆತವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಸಿಕ್ ಲೇಪನವಿಲ್ಲದ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಸೇವಾ ಜೀವನಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಸೇವಾ ಜೀವನವು 20% ರಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ.
೧.೨ ಹರಿವಿನ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಕೊಳವೆಯಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯ ಮತ್ತು ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಗತಿ
ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಸಿಲಿಂಡರ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಮೇಲೆ ಇದೆ (ಚಿತ್ರ 1 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ). ಸ್ಫಟಿಕ ಎಳೆಯುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಕ್ಷೇತ್ರದ ಒಳಗೆ ಮತ್ತು ಹೊರಗೆ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿರುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಕೆಳಭಾಗದ ಮೇಲ್ಮೈ ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ, ತಾಪಮಾನವು ಅತ್ಯಧಿಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯಿಂದ ತುಕ್ಕು ಅತ್ಯಂತ ಗಂಭೀರವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಸಂಶೋಧಕರು ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಟ್ಯೂಬ್ ಆಂಟಿ-ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿಧಾನದ ಸರಳ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿದರು. ಮೊದಲು, ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಟ್ಯೂಬ್ನ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ನಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಿಸ್ಕರ್ ಪದರವನ್ನು ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿಯೇ ಬೆಳೆಸಲಾಯಿತು, ಮತ್ತು ನಂತರ ದಟ್ಟವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಹೊರ ಪದರವನ್ನು ತಯಾರಿಸಲಾಯಿತು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಚಿತ್ರ 3 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ದಟ್ಟವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರದ ನಡುವೆ SiCw ಪರಿವರ್ತನೆಯ ಪದರವು ರೂಪುಗೊಂಡಿತು. ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕವು ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ನಡುವೆ ಇತ್ತು. ಇದು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದ ಅಸಾಮರಸ್ಯದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
SiCw ಅಂಶ ಹೆಚ್ಚಾದಂತೆ, ಲೇಪನದಲ್ಲಿನ ಬಿರುಕುಗಳ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಸಂಖ್ಯೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. 1100 ℃ ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ 10 ಗಂಟೆಗಳ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ನಂತರ, ಲೇಪನ ಮಾದರಿಯ ತೂಕ ನಷ್ಟ ದರವು ಕೇವಲ 0.87%~8.87% ಆಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣ ತಯಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಪೂರ್ಣಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸರಳಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಪೂರ್ಣ ನಳಿಕೆಯ ಸಮಗ್ರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಂಶೋಧಕರು czohr ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗೈಡ್ ಟ್ಯೂಬ್ನ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಬಲಪಡಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನದ ವಿಧಾನವನ್ನು ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಿದರು. ಪಡೆದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸ್ಲರಿಯನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗೈಡ್ ಟ್ಯೂಬ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಬ್ರಷ್ ಲೇಪನ ಅಥವಾ ಸ್ಪ್ರೇ ಲೇಪನ ವಿಧಾನದ ಮೂಲಕ 30~50 μm ಲೇಪನ ದಪ್ಪದೊಂದಿಗೆ ಏಕರೂಪವಾಗಿ ಲೇಪಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ನಂತರ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಇನ್-ಸಿಟು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ಇರಿಸಲಾಯಿತು, ಕ್ರಿಯೆಯ ತಾಪಮಾನವು 1850~2300 ℃ ಆಗಿತ್ತು, ಮತ್ತು ಶಾಖ ಸಂರಕ್ಷಣೆ 2~6h ಆಗಿತ್ತು. SiC ಹೊರ ಪದರವನ್ನು 24 in (60.96 cm) ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು, ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯ ತಾಪಮಾನವು 1500 ℃ ಆಗಿದೆ, ಮತ್ತು 1500h ನಂತರ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗೈಡ್ ಸಿಲಿಂಡರ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಬಿರುಕುಗಳು ಮತ್ತು ಬೀಳುವ ಪುಡಿ ಇರುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಕಂಡುಬಂದಿದೆ.
೧.೩ ನಿರೋಧನ ಸಿಲಿಂಡರ್ನಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯ ಮತ್ತು ಸಂಶೋಧನಾ ಪ್ರಗತಿ
ಏಕಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿ, ನಿರೋಧನ ಸಿಲಿಂಡರ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಶಾಖದ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಪರಿಸರದ ತಾಪಮಾನದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಅನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯ ನಿರೋಧನ ಪದರದ ಪೋಷಕ ಭಾಗವಾಗಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ಸವೆತವು ಉತ್ಪನ್ನದ ಸ್ಲ್ಯಾಗ್ ಬೀಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಬಿರುಕುಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಉತ್ಪನ್ನ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
C/ C-sic ಸಂಯೋಜಿತ ನಿರೋಧನ ಕೊಳವೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ಸಂಶೋಧಕರು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಿದ C/ C-sic ಸಂಯೋಜಿತ ನಿರೋಧನ ಕೊಳವೆಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಹಾಕಿದರು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ C/ C-sic ಸಂಯೋಜಿತ ನಿರೋಧನ ಕೊಳವೆಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ದಟ್ಟವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಿದರು. ಫಲಿತಾಂಶಗಳು, ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯಿಂದ C/ C-sic ಸಂಯೋಜಿತ ಕೇಂದ್ರದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಬನ್ ಫೈಬರ್ನ ಸವೆತವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯುಕ್ತಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ 5 ರಿಂದ 10 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನ ಸಿಲಿಂಡರ್ನ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಪರಿಸರದ ಸುರಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ.
2. ತೀರ್ಮಾನ ಮತ್ತು ನಿರೀಕ್ಷೆ
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧದಿಂದಾಗಿ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ. ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಸ್ತುಗಳ ಗಾತ್ರ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವಂತೆ, ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಸುಧಾರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಸ್ತುಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು ಹೇಗೆ ಎಂಬುದು ಪರಿಹರಿಸಬೇಕಾದ ತುರ್ತು ಸಮಸ್ಯೆಯಾಗಿದೆ.
ಮತ್ತೊಂದೆಡೆ, ಏಕಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಸ್ತುಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯೂ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿದೆ, ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಆಂತರಿಕ ಕಾರ್ಬನ್ ಫೈಬರ್ಗಳ ಮೇಲೆ SiC ನ್ಯಾನೊಫೈಬರ್ಗಳನ್ನು ಸಹ ಬೆಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಯೋಗಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾದ C/ C-ZRC ಮತ್ತು C/ C-sic ZrC ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಅಬ್ಲೇಶನ್ ಮತ್ತು ರೇಖೀಯ ಅಬ್ಲೇಶನ್ ದರಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ -0.32 mg/s ಮತ್ತು 2.57 μm/s. C/ C-sic -ZrC ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಮತ್ತು ರೇಖೆಯ ಅಬ್ಲೇಶನ್ ದರಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ -0.24mg/s ಮತ್ತು 1.66 μm/s. SiC ನ್ಯಾನೊಫೈಬರ್ಗಳೊಂದಿಗಿನ C/ C-ZRC ಸಂಯುಕ್ತಗಳು ಉತ್ತಮ ಅಬ್ಲೇಟಿವ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ನಂತರ, SiC ನ್ಯಾನೊಫೈಬರ್ಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಮೇಲೆ ವಿಭಿನ್ನ ಇಂಗಾಲದ ಮೂಲಗಳ ಪರಿಣಾಮಗಳು ಮತ್ತು C/ C-ZRC ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ಅಬ್ಲೇಟಿವ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬಲಪಡಿಸುವ SiC ನ್ಯಾನೊಫೈಬರ್ಗಳ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಅಧ್ಯಯನ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಳದಲ್ಲೇ ಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ಸಂಯೋಜಿತ ಲೇಪನ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲಾಯಿತು. ಸಂಯೋಜಿತ ಲೇಪನವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ (100~300μm), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಪನ (10~20μm) ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಲೇಪನ (50~100μm) ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿತ್ತು, ಇದು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ಸವೆತವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಂಯೋಜಿತ ಲೇಪಿತ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ನ ನಷ್ಟವು ಪ್ರತಿ ಕುಲುಮೆಗೆ 0.04 ಮಿಮೀ, ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನವು 180 ಕುಲುಮೆಯ ಸಮಯವನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಫೆಬ್ರವರಿ-22-2024