VET 에너지PECVD 공정용 흑연 캐리어는 PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착) 공정에 최적화된 고품질 소모품입니다. 이 흑연 캐리어는 고순도, 고밀도 흑연 소재로 제작되어 내열성, 내식성, 치수 안정성 등의 특성이 우수하여 PECVD 공정에 안정적인 캐리어 플랫폼을 제공하여 박막 증착의 균일성과 평탄도를 보장합니다.
PECVD 공정용 흑연 캐리어는 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다.
▪ 높은 순도: 불순물 함량이 매우 낮아 필름 오염을 방지하고 필름 품질을 보장합니다.
▪ 고밀도: 고밀도, 높은 기계적 강도, 고온 및 고압 PECVD 환경을 견딜 수 있습니다.
▪ 우수한 치수 안정성: 고온에서 치수 변화가 적어 공정 안정성을 보장합니다.
▪ 뛰어난 열전도도: 열을 효과적으로 전달하여 웨이퍼 과열을 방지합니다.
▪ 강력한 내식성: 다양한 부식성 가스 및 플라즈마에 의한 침식을 저항할 수 있습니다.
▪ 맞춤형 서비스: 다양한 크기와 모양의 흑연 캐리어를 고객 요구에 맞게 맞춤 제작할 수 있습니다.
SGL의 흑연 소재:
| 일반적인 매개변수: R6510 | |||
| 색인 | 시험표준 | 값 | 단위 |
| 평균 입자 크기 | ISO 13320 | 10 | μm |
| 체적 밀도 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 개방형 다공성 | DIN66133 | 10 | % |
| 중간 크기의 기공 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 침투성 | DIN 51935 | 0.06 | 센티미터²/초 |
| 록웰 경도 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 비전기 저항률 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 굽힘 강도 | DIN IEC 60413/501 | 60 | 엠파 |
| 압축 강도 | DIN 51910 | 130 | 엠파 |
| 영률 | DIN 51915 | 11.5×10³ | 엠파 |
| 열팽창(20~200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| 열전도도(20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
고효율 태양 전지 제조를 위해 특별히 설계되었으며, G12 대형 웨이퍼 공정을 지원합니다. 최적화된 캐리어 설계는 처리량을 크게 향상시켜 수율을 높이고 생산 비용을 절감합니다.
| 목 | 유형 | 웨이퍼 캐리어 번호 |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 156 시리즈 | 156-13 그레파이트 보트 | 144 |
| 156-19 그레파이트 보트 | 216 | |
| 156-21 그레파이트 보트 | 240 | |
| 156-23 그래파이트 보트 | 308 | |
| PEVCD 그레파이트 보트 - 125 시리즈 | 125-15 그레파이트 보트 | 196 |
| 125-19 그레파이트 보트 | 252 | |
| 125-21 그래프트 보트 | 280 |
