Te takenga mai o te ingoa angiangi epitaxial
Tuatahi, kia whakanuia e tatou tetahi ariā iti: ko te whakarite angiangi kei roto e rua nga hononga nui: te whakarite i te tïpako me te tukanga epitaxial. Ko te tïpako he angiangi i hangaia mai i te semiconductor rauemi karaihe kotahi. Ka taea e te tïpako te kuhu tika ki te mahi hanga angiangi ki te whakaputa i nga taputapu semiconductor, ka taea ranei te tukatuka ma nga tikanga epitaxial hei whakaputa i nga angiangi epitaxial. Ko te Epitaxy e pa ana ki te tukanga o te whakatipu i tetahi paparanga hou o te karaihe kotahi i runga i te taputapu karaihe kotahi kua ata tukatukahia e te tapahi, te huri, te whakakorikori, me etahi atu. Ko te karaihe kotahi hou ka rite ki te taputapu, he mea rereke ranei (homogene) epitaxy he heteroepitaxy ranei. Na te mea ka toro atu te paparanga karaihe kotahi hou me te tipu i runga i te waahanga karaihe o te tïpako, ka kiia he paparanga epitaxial (ko te matotoru he iti noa nga microns, ka mau te silicon hei tauira: ko te tikanga o te tipu epitaxial silicon kei runga i te kirikiri kiripiri kiripiri kotahi me te ahua o te karaihe. ka kiia ko te paparanga epitaxial he angiangi epitaxial (epitaxial wafer = paparanga epitaxial + substrate). Ina hangaia te taputapu ki te paparanga epitaxial, ka kiia ko te epitaxy pai. Mena ka mahia te taputapu ki runga i te taputapu, ka kiia ko te epitaxy whakamuri. I tenei wa, ko te paparanga epitaxial anake te mahi tautoko.
He angiangi kua whakangia
Nga tikanga tipu epitaxial
Epitaxy kurupae kurupae (MBE): He hangarau tipu epitaxial semiconductor i mahia i raro i nga tikanga korehau tino teitei. I roto i tenei tikanga, ka whakangoatia nga rauemi puna hei kurupae ngota ngota, ngota ngota ranei, katahi ka tuu ki runga i te tïpako tioata. Ko te MBE he tino tika me te whakahaere i te hangarau tipu kiriata angiangi semiconductor e taea te whakahaere tika i te matotoru o nga mea kua penapena ki te taumata ngota.
Metal organic CVD (MOCVD): I roto i te tukanga MOCVD, te konganuku waro me te hau hydride hau N kei roto nga huānga e hiahiatia ana ka tukuna ki te tïpako i te pāmahana e tika ana, ka tukuna he tauhohenga matū ki te whakaputa i te rauemi semiconductor e hiahiatia ana, ka waiho ki runga i te tïpako ki runga, i te wa ka tukuna nga toenga pūhui me nga hua tauhohenga.
Korehu wahanga epitaxy (VPE): Ko te wahanga kohu epitaxy he hangarau nui e whakamahia nuitia ana ki te hanga i nga taputapu hikohiko. Ko te kaupapa matua ko te kawe i te kohu o nga matū huānga, pūhui ranei i roto i te hau kawe, me te whakatakoto tioata ki te tïpako ma te tauhohenga matū.
He aha nga raruraru ka whakaotihia e te tukanga epitaxy?
Ko te nuinga o nga rawa karaihe kotahi e kore e taea te whakatutuki i nga hiahia tipu o te hanga i nga momo taputapu semiconductor. Na reira, i whakawhanakehia te tipu epitaxial, he papanga angiangi o te hangarau whakatipu rawa karaihe kotahi, i te mutunga o te tau 1959. Na he aha te takoha motuhake a te hangarau epitaxy ki te ahu whakamua o nga rawa?
Mo te silicon, i te wa i timata ai te hangarau tipu epitaxial silicon, he tino wa uaua mo te hanga o nga transistors teitei-tere me te kaha nui. Mai i te tirohanga o nga maataapono transistor, ki te whiwhi i te auau teitei me te kaha teitei, me nui te ngaohiko pakaru o te rohe kaikohi me te iti o te aukati raupapa, ara, me iti te heke o te ngaohiko. Ko te tikanga o mua kia teitei te parenga o nga rawa o te waahi kohikohi, ko te mea o muri me iti te parenga o nga rawa o te waahi kohikohi. Ko nga porowini e rua e taupatupatu ana tetahi ki tetahi. Mena ka whakahekehia te matotoru o nga mea kei roto i te waahi kaikohi ki te whakaiti i te aukati raupapa, ka tino kikokore te angiangi silicon me te ngoikore ki te tukatuka. Mena ka whakahekehia te parenga o te rauemi, ka whakahē i te whakaritenga tuatahi. Heoi, kua angitu te whanaketanga o te hangarau epitaxial. i whakaoti tenei uaua.
Otinga: Whakatipuhia he paparanga epitaxial kaha-kaha ki runga i tetahi tïpako tino iti-atete, ka hangaia te taputapu ki runga i te paparanga epitaxial. Ko tenei paparanga epitaxial teitei e whakarite ana he nui te ngaohiko pakaru o te ngongo, i te mea ko te taputapu iti-atete Ka whakaiti ano i te parenga o te taputapu, na reira ka whakaiti i te heke o te ngaohiko, na reira ka whakatau i te tautohetohe i waenga i nga mea e rua.
Hei taapiri, ko nga hangarau epitaxy penei i te epitaxy wahanga kohu me te epitaxy wahanga wai o GaAs me etahi atu III-V, II-VI me etahi atu rauemi semiconductor pūhui rāpoi kua tino whakawhanakehia, kua waiho hei putake mo te nuinga o nga taputapu ngaruiti, nga taputapu optoelectronic, te mana Ko te hangarau tukanga tino nui mo te hanga o nga taputapu, ina koa ko te tono angitu o te waahana ngongo ngota me te waahana angiangi whakarewa. nga puna quantum, nga reiti taikaha, me te epitaxy papa angiangi taumata ngota, he mahi hou tenei mo te rangahau semiconductor. Ko te whakawhanaketanga o te "mahinga whitiki hiko" i roto i te mara kua whakatakoto he turanga pakari.
I roto i nga mahi whaihua, ka mahia nga taputapu semiconductor whaanui whanui i runga i te paparanga epitaxial, ko te wafer carbide silicon ano te mahi hei tïpako. Na reira, ko te mana whakahaere o te paparanga epitaxial he waahanga nui o te umanga semiconductor bandgap whanui.
7 nga pukenga nui i roto i te hangarau epitaxy
1. Ko nga paparanga epitaxial teitei (iti) ka taea te whakatipu i te epitaxial ki runga i nga taputapu aukati iti (tiketike).
2. Ka taea te whakatipu i te paparanga epitaxial momo N (P) ki runga i te tïpako momo P (N) hei hanga tika i te hononga PN. Karekau he raruraru kapeneheihana i te wa e whakamahi ana i te tikanga whakamaarama ki te hanga hononga PN i runga i te taputapu karaihe kotahi.
3. Whakakotahitia me te hangarau kanohi, ka mahia te tipu epitaxial whiriwhiri i roto i nga waahi kua tohua, ka hangaia nga tikanga mo te hanga i nga waahi whakauru me nga taputapu me nga hanganga motuhake.
4. Ko te momo me te kukū o te doping ka taea te whakarereke i runga i nga hiahia i te wa o te tipu o te epitaxial. Ko te huringa o te kukū he huringa ohorere, he huringa puhoi ranei.
5. Ka taea e ia te tipu i nga huinga huinga rereke, maha-paparanga, maha-waahanga me nga paparanga ultra-angiangi me nga waahanga rereke.
6. Ka taea te tipu epitaxial i te pāmahana iti iho i te rewa o te rauemi, ka taea te whakahaere i te tere o te tipu, ka taea te whakatutuki i te tipu o te epitaxial o te matotoru o te taumata ngota.
7. Ka taea e ia te whakatipu i nga taonga karaihe kotahi e kore e taea te toia, penei i te GaN, nga paparanga karaihe kotahi o nga kohinga tuatoru me te quaternary, etc.
Te wa tuku: Mei-13-2024