Susceptor grafit bersalut SiC merupakan komponen utama yang digunakan dalam pelbagai proses pembuatan semikonduktor. Kami menggunakan teknologi berpaten kami untuk menghasilkan susceptor dengan ketulenan yang sangat tinggi, keseragaman salutan yang baik dan jangka hayat yang cemerlang, serta rintangan kimia dan sifat kestabilan terma yang tinggi.
Ciri-ciri produk kami:
1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700℃.
2. Ketulenan tinggi dan keseragaman terma
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: reagen asid, alkali, garam dan organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan | |
| 性质 / Hartanah | 典型数值 / Nilai Lazim |
| 晶体结构 / Struktur Kristal | Fasa β FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Kekerasan | 2500 维氏硬度（500g beban） |
| 晶粒大小 / Saiz Bijirin | 2~10μm |
| 纯度 / Ketulenan Kimia | 99.99995% |
| 热容 / Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Suhu Pemejalwapan | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Kekuatan Fleksibel | 415 MPa RT 4-titik |
| 杨氏模量 / Modulus Young | 430 Gpa 4pt selekoh, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalKekonduksian | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Pengembangan Terma (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan pelbagai lapisan seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon berkaca, lapisan karbon pirolitik, dan sebagainya, yang boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.
Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.
Kami sentiasa membangunkan proses canggih untuk menyediakan bahan yang lebih canggih, dan telah menghasilkan teknologi berpaten eksklusif yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada keterlepasan.
Mesra mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari kita berbincang lebih lanjut!
