Bot Wafer Kuarzamerupakan alat pembawa utama dalam pembuatan semikonduktor, pengeluaran sel fotovoltaik dan penyelidikan dan pembangunan bahan termaju, direka bentuk untuk pemindahan dan penentuan kedudukan wafer yang stabil dalam proses suhu tinggi. Produk ini diperbuat daripada silika terlakur (SiO2) dengan ketulenan ultra tinggi, dengan ciri-ciri rintangan suhu yang sangat baik, kestabilan kimia dan pencemaran logam ultra rendah, sesuai untuk relau resapan, relau pengoksidaan, PECVD/LPCVD dan peralatan lain, digunakan secara meluas dalam salutan wafer, implantasi ion, penyepuhlindapan suhu tinggi dan proses teras lain.
Kelebihan Teras bot kuarza VET Energy:
- Bahan ketulenan ultra tinggi
Ketulenan ≥99.99%: Kandungan bendasing (Na, K, Fe, dll.) <5ppm, mengelakkan pencemaran wafer dan menjamin hasil cip.
Pemendakan dan penjerapan yang rendah: permukaannya digilap super (Ra≤0.4μm) untuk mengurangkan lekatan zarah dan sisa gas. - Kestabilan suhu tinggi
Had suhu: Suhu kerja jangka panjang 1100℃, puncak jangka pendek 1300℃, tiada ubah bentuk, tiada pemendakan kristal.
Pekali pengembangan haba yang rendah (5.5x10-7/℃), rintangan kejutan haba yang sangat baik, boleh disesuaikan dengan proses kenaikan dan penurunan suhu yang pesat (cth. penyepuhlindapan pantas RTP). - Reka bentuk struktur yang tepat
Ketepatan slot ±0.1mm: sepadan dengan wafer 2” hingga 12”, ralat keseragaman jarak <0.05mm, memastikan wafer tidak mempunyai ofset.
Kapasiti beban tinggi: Beban maksimum 50 wafer (dari segi wafer 12”) dalam satu bot, menyokong pemindahan wafer nipis yang stabil (≥100um). - Ketidakaktifan kimia
Rintangan kakisan: Tahan terhadap kakisan asid (kecuali HF), alkali dan pelarut organik, serasi dengan proses pembersihan CMP.
Ketegangan gas yang sangat baik: Kadar kebocoran <5x10-10 Pa.m3/s, sesuai untuk persekitaran vakum dan gas pelindung. - Jangka hayat dan kebolehjagaan yang panjang
Jangka hayat ≥ 5000 kitaran (keadaan kerja biasa), permukaan boleh dibersihkan dan digunakan berulang kali, mengurangkan kos keseluruhan.
Reka bentuk modular: menyokong penggantian separa (contohnya gigi bot tunggal), mengurangkan masa henti.
Kami menawarkan permukaan lutsinar dan berkabut mengikut keperluan pelanggan:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd merupakan sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang menumpukan pada pengeluaran dan penjualan bahan canggih mewah, bahan dan teknologi termasuk grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dan sebagainya, produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dan sebagainya.
Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, dan telah membangunkan pelbagai teknologi berpaten untuk memastikan prestasi dan kualiti produk, juga boleh menyediakan penyelesaian bahan profesional kepada pelanggan.
